የቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች ምደባዎች ምንድናቸው?

የቫኩም ሽፋን ቴክኖሎጂ ቀጭን የፊልም ቁሳቁሶችን በቫክዩም አካባቢ ስር በንጥረ ነገሮች ወለል ላይ የሚያስቀምጥ ቴክኖሎጂ ሲሆን ይህም በኤሌክትሮኒክስ፣ በኦፕቲክስ፣ በማሸጊያ፣ በጌጣጌጥ እና በሌሎች መስኮች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። የቫኩም ሽፋን መሳሪያዎች በዋናነት በሚከተሉት ዓይነቶች ሊከፈሉ ይችላሉ፡

1. የሙቀት ትነት ሽፋን መሳሪያዎች፡ ይህ በጣም ባህላዊ የቫክዩም ሽፋን ዘዴ ነው፣ ቀጭኑን የፊልም ቁሳቁስ በትነት ጀልባ ውስጥ በማሞቅ፣ ቁሱ ተተኖ በንጣፉ ቁሳቁስ ወለል ላይ ይቀመጣል።
2. የስፕተርንግ ሽፋን መሳሪያዎች፡- የታለመውን ቁሳቁስ ወለል ለመምታት ከፍተኛ ኃይል ያላቸውን አዮኖች በመጠቀም የታለመው ቁሳቁስ አቶሞች ይረጫሉ እና ወደ ንጣፍ ቁሳቁስ ይቀመጣሉ። ማግኔትሮን ስፕተርንግ ለጅምላ ምርት ተስማሚ የሆነ የፊልሙን የበለጠ ወጥ እና ጠንካራ ማጣበቂያ ማግኘት ይችላል።
3. የአዮን ጨረር ማስቀመጫ መሳሪያዎች፡ የአዮን ጨረር ቀጭን የፊልም ቁሳቁሶችን በንጣፉ ላይ ለማስገባት ያገለግላል። ይህ ዘዴ በጣም ተመሳሳይ የሆኑ ፊልሞችን ማግኘት የሚችል ሲሆን ከፍተኛ ትክክለኛነት ላላቸው አጋጣሚዎች ተስማሚ ነው፣ ነገር ግን የመሳሪያው ዋጋ ከፍተኛ ነው።
4. የኬሚካል ትነት ማስወገጃ (CVD) መሳሪያዎች፡- በኬሚካል ምላሽ አማካኝነት በንጥረ ነገር ወለል ላይ ቀጭን ፊልሞችን ይፈጥራል። ይህ ዘዴ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ባለብዙ ዝርያ ፊልሞችን ማዘጋጀት ይችላል፣ ነገር ግን መሳሪያዎቹ ውስብስብ እና ውድ ናቸው።
5. የሞለኪውላር ቢም ኤፒታክሲ (MBE) መሳሪያዎች፡- ይህ በአቶሚክ ደረጃ የቀጭን ፊልሞችን እድገት ለመቆጣጠር የሚያስችል ዘዴ ሲሆን በዋናነት ለሴሚኮንዳክተር እና ናኖቴክኖሎጂ አፕሊኬሽኖች እጅግ በጣም ቀጭን ንብርብሮችን እና ባለብዙ ንብርብር መዋቅሮችን ለማዘጋጀት ያገለግላል።
6. የፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ማስወገጃ (PECVD) መሳሪያዎች፡- ይህ ፕላዝማ ቀጭን ፊልሞችን በኬሚካላዊ ምላሽ በመጠቀም ለማስቀመጥ የሚያገለግል ዘዴ ሲሆን ይህም ቀጭን ፊልሞች በዝቅተኛ የሙቀት መጠን በፍጥነት እንዲፈጠሩ ያስችላል።
7. የተወዛወዘ የሌዘር ዲፖዚሽን (PLD) መሳሪያዎች፡- እነዚህ ኢላማውን ለመምታት፣ ቁሳቁሱን ከዒላማው ወለል ላይ ለማትነን እና በንጣፍ ላይ ለማስቀመጥ ከፍተኛ ኃይል ያላቸው የሌዘር ምቶች ይጠቀማሉ፣ እና ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን እና ውስብስብ የኦክሳይድ ፊልሞችን ለማልማት ተስማሚ ናቸው።
እያንዳንዳቸው እነዚህ መሳሪያዎች በዲዛይንና በአሠራር ረገድ የራሳቸው ባህሪያት አሏቸው፤ ለተለያዩ የኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖችና የምርምር ዘርፎችም ተስማሚ ናቸው። በቴክኖሎጂ እድገት፣ የቫኩም ሽፋን ቴክኖሎጂም እየተሻሻለ ነው፣ እና አዳዲስ የቫኩም ሽፋን መሣሪያዎችም እየወጡ ነው።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽንአምራች Guangdong Zhenhua