ভ্যাকুয়াম কোটিং প্রযুক্তি হলো এমন একটি প্রযুক্তি যা ভ্যাকুয়াম পরিবেশে সাবস্ট্রেট উপাদানের পৃষ্ঠে পাতলা ফিল্ম উপাদান জমা করে, যা ইলেকট্রনিক্স, অপটিক্স, প্যাকেজিং, সজ্জা এবং অন্যান্য ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। ভ্যাকুয়াম কোটিং সরঞ্জামগুলিকে প্রধানত নিম্নলিখিত প্রকারে ভাগ করা যায়:
১. তাপীয় বাষ্পীভবন আবরণ সরঞ্জাম: এটি সবচেয়ে প্রচলিত ভ্যাকুয়াম আবরণ পদ্ধতি। এই পদ্ধতিতে বাষ্পীভবন বোটে পাতলা ফিল্ম উপাদানকে উত্তপ্ত করা হয়, যার ফলে উপাদানটি বাষ্পীভূত হয়ে সাবস্ট্রেট উপাদানের পৃষ্ঠে জমা হয়।
২. স্পাটারিং কোটিং সরঞ্জাম: উচ্চ-শক্তির আয়ন ব্যবহার করে টার্গেট উপাদানের পৃষ্ঠে আঘাত করার ফলে, টার্গেট উপাদানের পরমাণুগুলো স্পাটারিংয়ের মাধ্যমে সাবস্ট্রেট উপাদানে জমা হয়। ম্যাগনেট্রন স্পাটারিংয়ের মাধ্যমে ফিল্মের আরও সুষম এবং শক্তিশালী আনুগত্য অর্জন করা সম্ভব, যা ব্যাপক উৎপাদনের জন্য উপযুক্ত।
৩. আয়ন বিম ডিপোজিশন সরঞ্জাম: সাবস্ট্রেটের উপর পাতলা ফিল্ম উপাদান জমা করার জন্য আয়ন বিম ব্যবহার করা হয়। এই পদ্ধতিতে খুব অভিন্ন ফিল্ম পাওয়া যায় এবং এটি উচ্চ নির্ভুলতার প্রয়োজনীয়তাযুক্ত ক্ষেত্রগুলির জন্য উপযুক্ত, কিন্তু এই সরঞ্জামের খরচ অনেক বেশি।
৪. রাসায়নিক বাষ্প অবক্ষেপণ (CVD) সরঞ্জাম: এটি একটি রাসায়নিক বিক্রিয়ার মাধ্যমে অধঃস্তর উপাদানের পৃষ্ঠে পাতলা স্তর তৈরি করে। এই পদ্ধতিতে উচ্চ-মানের, বহু-প্রজাতির স্তর প্রস্তুত করা যায়, কিন্তু এর সরঞ্জাম জটিল এবং ব্যয়বহুল।
৫. মলিকিউলার বিম এপিট্যাক্সি (এমবিই) সরঞ্জাম: এটি পারমাণবিক স্তরে পাতলা ফিল্মের বৃদ্ধি নিয়ন্ত্রণের একটি পদ্ধতি এবং এটি প্রধানত সেমিকন্ডাক্টর ও ন্যানোপ্রযুক্তি প্রয়োগের জন্য অতি-পাতলা স্তর এবং বহুস্তরীয় কাঠামো প্রস্তুত করতে ব্যবহৃত হয়।
৬. প্লাজমা এনহ্যান্সড কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন (পিইসিভিডি) সরঞ্জাম: এটি এমন একটি কৌশল যা রাসায়নিক বিক্রিয়ার মাধ্যমে পাতলা ফিল্মের জমাটবদ্ধতাকে উন্নত করতে প্লাজমা ব্যবহার করে, যার ফলে কম তাপমাত্রায় দ্রুত পাতলা ফিল্ম তৈরি করা সম্ভব হয়।
৭. পালসড লেজার ডিপোজিশন (পিএলডি) ডিভাইস: এগুলি উচ্চ-শক্তির লেজার পালস ব্যবহার করে একটি টার্গেটে আঘাত করে, টার্গেটের পৃষ্ঠ থেকে উপাদান বাষ্পীভূত করে এবং এটিকে একটি সাবস্ট্রেটের উপর জমা করে, এবং উচ্চ-মানের, জটিল অক্সাইড ফিল্ম তৈরির জন্য উপযুক্ত।
এই ডিভাইসগুলোর প্রত্যেকটির নকশা ও কার্যপ্রণালীতে নিজস্ব বৈশিষ্ট্য রয়েছে এবং এগুলো বিভিন্ন শিল্পক্ষেত্রে প্রয়োগ ও গবেষণার জন্য উপযুক্ত। প্রযুক্তির বিকাশের সাথে সাথে ভ্যাকুয়াম কোটিং প্রযুক্তিরও অগ্রগতি হচ্ছে এবং নতুন নতুন ভ্যাকুয়াম কোটিং সরঞ্জামও আবির্ভূত হচ্ছে।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিনপ্রস্তুতকারক গুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: জুন-১২-২০২৪