Технологияи рӯйпӯшкунии вакуумӣ технологияест, ки дар муҳити вакуумӣ маводҳои плёнкаи тунукро ба рӯи маводҳои субстратӣ мегузорад ва дар электроника, оптика, бастабандӣ, ороиш ва дигар соҳаҳо васеъ истифода мешавад. Таҷҳизоти рӯйпӯшкунии вакуумӣ асосан ба намудҳои зерин тақсим карда мешаванд:
1. Таҷҳизоти пӯшонидани гармии бухоршавӣ: ин усули анъанавии пӯшонидани вакуумӣ мебошад, ки бо гарм кардани маводи плёнкаи тунук дар қаиқи бухоршавӣ, мавод бухор карда мешавад ва ба сатҳи маводи субстратӣ гузошта мешавад.
2. Таҷҳизоти пӯшонидани пошидани маводи сунъӣ: бо истифода аз ионҳои дорои энергияи баланд барои бархӯрдан ба сатҳи маводи мақсаднок, атомҳои маводи мақсаднок пошида мешаванд ва ба маводи зеризаминӣ гузошта мешаванд. Пошидани маводи магнетронӣ метавонад часпакии якхела ва қавитари плёнкаро ба даст орад, ки барои истеҳсоли оммавӣ мувофиқ аст.
3. Таҷҳизоти ҷойгиркунии нурҳои ионӣ: Нурҳои ионӣ барои ҷойгиркунии маводҳои плёнкаи тунук ба рӯи замин истифода мешаванд. Ин усул метавонад плёнкаҳои хеле якхеларо ба даст орад ва барои мавридҳое, ки талаботи дақиқии баланд доранд, мувофиқ аст, аммо арзиши таҷҳизот баланд аст.
4. Таҷҳизоти буғгузории кимиёвӣ (CVD): Дар рӯи маводи субстрат тавассути реаксияи кимиёвӣ плёнкаҳои тунук ба вуҷуд меоранд. Ин усул метавонад плёнкаҳои баландсифат ва гуногуннамудро омода кунад, аммо таҷҳизот мураккаб ва гарон аст.
5. Таҷҳизоти эпитаксияи шуои молекулавӣ (MBE): Ин усули назорат кардани афзоиши плёнкаҳои тунук дар сатҳи атомӣ буда, асосан барои тайёр кардани қабатҳои ултра тунук ва сохторҳои бисёрқабата барои барномаҳои нимноқилӣ ва нанотехнология истифода мешавад.
6. Таҷҳизоти PECVD барои ҷойгиркунии буғи кимиёвии бо плазма беҳтаршуда: Ин усулест, ки плазмаро барои беҳтар кардани ҷойгиршавии плёнкаҳои тунук тавассути реаксияи кимиёвӣ истифода мебарад ва имкон медиҳад, ки дар ҳарорати пасттар зуд плёнкаҳои тунук пайдо шаванд.
7. Дастгоҳҳои Лазерии Пулсӣ (PLD): Инҳо аз импулсҳои лазерии баландэнергия барои зарба задан ба ҳадаф, бухор кардани мавод аз сатҳи ҳадаф ва гузоштани он ба рӯи субстрат истифода мебаранд ва барои парвариши плёнкаҳои оксидии мураккаби баландсифат мувофиқанд.
Ҳар яки ин дастгоҳҳо хусусиятҳои худро дар тарҳрезӣ ва истифода доранд ва барои барномаҳои гуногуни саноатӣ ва соҳаҳои тадқиқотӣ мувофиқанд. Бо рушди технология, технологияи пӯшонидани вакуумӣ низ пешрафт мекунад ва таҷҳизоти нави пӯшонидани вакуумӣ низ пайдо мешаванд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастмошини пӯшонидани вакуумӣИстеҳсолкунандаи Guangdong Zhenhua
Вақти нашр: 12 июни соли 2024