வெற்றிடப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பம் என்பது வெற்றிடச் சூழலில் அடி மூலக்கூறுப் பொருட்களின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலப் பொருட்களைப் படியவைக்கும் ஒரு தொழில்நுட்பமாகும். இது மின்னணுவியல், ஒளியியல், பொதியிடல், அலங்காரம் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. வெற்றிடப் பூச்சு உபகரணங்களை முக்கியமாகப் பின்வரும் வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்:
1. வெப்ப ஆவியாதல் பூச்சு உபகரணம்: இது மிகவும் பாரம்பரியமான வெற்றிடப் பூச்சு முறையாகும். இதில், ஆவியாதல் கலத்தில் உள்ள மெல்லிய படலப் பொருளைச் சூடுபடுத்துவதன் மூலம், அப்பொருள் ஆவியாக்கப்பட்டு அடி மூலப்பொருளின் மேற்பரப்பில் படியவைக்கப்படுகிறது.
2. ஸ்பட்டரிங் பூச்சு உபகரணம்: உயர் ஆற்றல் அயனிகளைப் பயன்படுத்தி இலக்குப் பொருளின் மேற்பரப்பில் மோதும்போது, இலக்குப் பொருளின் அணுக்கள் சிதறடிக்கப்பட்டு அடி மூலப்பொருளின் மீது படியவைக்கப்படுகின்றன. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் முறையானது, மிகவும் சீரான மற்றும் வலுவான பூச்சு ஒட்டுதலைப் பெற உதவுகிறது, மேலும் இது பெருமளவு உற்பத்திக்கு ஏற்றதாகும்.
3. அயனி கற்றை படிவு உபகரணம்: அடி மூலக்கூறின் மீது மெல்லிய படலப் பொருட்களைப் படிய வைக்க அயனி கற்றைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த முறையில் மிகவும் சீரான படலங்களைப் பெற முடியும், மேலும் இது அதிக துல்லியத் தேவைகள் உள்ள சந்தர்ப்பங்களுக்கு ஏற்றது, ஆனால் இந்த உபகரணத்தின் விலை அதிகம்.
4. இரசாயன ஆவிப் படிவு (CVD) உபகரணம்: ஒரு இரசாயன வினையின் மூலம் அடி மூலப்பொருளின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலங்களை உருவாக்குகிறது. இந்த முறையால் உயர்தரமான, பலவகைப்பட்ட படலங்களைத் தயாரிக்க முடியும், ஆனால் இதன் உபகரணங்கள் சிக்கலானவை மற்றும் விலை உயர்ந்தவை.
5. மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி (MBE) உபகரணம்: இது அணு மட்டத்தில் மெல்லிய படலங்களின் வளர்ச்சியைக் கட்டுப்படுத்தும் ஒரு முறையாகும். மேலும் இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி மற்றும் நானோ தொழில்நுட்பப் பயன்பாடுகளுக்காக, மிக மெல்லிய அடுக்குகள் மற்றும் பல்லடுக்கு கட்டமைப்புகளைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
6. பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதி ஆவிப் படிவு (PECVD) உபகரணம்: இது ஒரு வேதிவினை மூலம் மெல்லிய படலங்களின் படிவை மேம்படுத்த பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தும் ஒரு நுட்பமாகும், இது குறைந்த வெப்பநிலையில் மெல்லிய படலங்களை விரைவாக உருவாக்க அனுமதிக்கிறது.
7. துடிப்புள்ள லேசர் படிவு (PLD) சாதனங்கள்: இவை உயர் ஆற்றல் கொண்ட லேசர் துடிப்புகளைப் பயன்படுத்தி ஒரு இலக்கைத் தாக்கி, இலக்கின் மேற்பரப்பில் இருந்து பொருளை ஆவியாக்கி, அதை ஒரு அடித்தளத்தின் மீது படிய வைக்கின்றன. மேலும், இவை உயர்தரமான, சிக்கலான ஆக்சைடு படலங்களை வளர்ப்பதற்கு ஏற்றவை.
இந்தச் சாதனங்கள் ஒவ்வொன்றும் வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்பாட்டில் தமக்கே உரிய தனித்தன்மைகளைக் கொண்டிருப்பதோடு, வெவ்வேறு தொழில்துறைப் பயன்பாடுகளுக்கும் ஆராய்ச்சித் துறைகளுக்கும் ஏற்றவையாக உள்ளன. தொழில்நுட்ப வளர்ச்சியுடன், வெற்றிடப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பமும் முன்னேறி வருகிறது, மேலும் புதிய வெற்றிடப் பூச்சு உபகரணங்களும் உருவாகி வருகின்றன.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திரம்உற்பத்தியாளர் குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: ஜூன்-12-2024