Waa maxay kala soocidda qalabka dahaarka faakuumka?

Tiknoolajiyadda dahaarka faakuumka waa tiknoolajiyad ku shubta walxaha khafiifka ah dusha sare ee walxaha substrate-ka ah ee ku jira jawi faakuumka ah, kaas oo si weyn loogu isticmaalo elektaroonigga, indhaha, baakadaha, qurxinta iyo meelaha kale. Qalabka dahaarka faakuumka waxaa inta badan loo qaybin karaa noocyada soo socda:

1. Qalabka dahaadhka uumi-baxa kulaylka: kani waa habka ugu dhaqameed ee dahaadhka faakuumka, iyadoo la kululaynayo walxaha khafiifka ah ee ku jira doonida uumi-baxa, walaxda waa la uumi-baxaa oo lagu shubaa dusha sare ee walaxda substrate-ka.
2. Qalabka dahaarka ee xoqidda: iyadoo la adeegsanayo aayoonno tamar sare leh si loo gaaro dusha sare ee walxaha la beegsanayo, atamka walxaha la beegsanayo ayaa la buufiyaa oo lagu shubaa walxaha substrate-ka ah. Buufinta magnetron waxay awood u leedahay inay hesho isku-dhejin isku mid ah oo xooggan oo filimka ah, oo ku habboon wax soo saarka tirada badan.
3. Qalabka dhigista shucaaca Ion: Rinjiyada Ion waxaa loo isticmaalaa in lagu shubo walxaha filimada khafiifka ah ee ku jira substrate-ka. Habkani wuxuu heli karaa filimaan aad u siman wuxuuna ku habboon yahay munaasabadaha leh shuruudaha saxda ah ee sare, laakiin qiimaha qalabku waa mid sarreeya.
4. Qalabka Kaydinta Uumiga Kiimikada (CVD): Waxay samaysaa filimaan khafiif ah oo dusha sare ee walxaha substrate-ka ah iyada oo loo marayo falgal kiimiko. Habkani wuxuu diyaarin karaa filimaan tayo sare leh oo noocyo badan leh, laakiin qalabku waa mid adag oo qaali ah.
5. Qalabka Molecular Beam Epitaxy (MBE): Kani waa hab lagu xakameeyo koritaanka filimada khafiifka ah ee heerka atomiga waxaana inta badan loo isticmaalaa diyaarinta lakabyada aadka u khafiifsan iyo qaab-dhismeedka lakabka badan ee loogu talagalay codsiyada semiconductor iyo nanotechnology.
6. Qalabka Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Balaasmaha oo Kor u Qaaday (PECVD): Kani waa farsamo adeegsata Balaasmaha si kor loogu qaado dhigista filimada khafiifka ah iyadoo la adeegsanayo falgal kiimiko, taasoo u oggolaanaysa sameynta degdega ah ee filimada khafiifka ah heerkul hoose.
7. Qalabka Kala-saarista Laser-ka ee Laasta (PLD): Kuwani waxay isticmaalaan garaaca laser-ka oo tamar sare leh si ay u weeraraan bartilmaameedka, u uumi-baxa walxaha ka soo baxa dusha bartilmaameedka oo ay ugu shubaan substrate, waxayna ku habboon yihiin inay koraan filimaan oksaydh oo tayo sare leh oo adag.
Mid kasta oo ka mid ah aaladahani wuxuu leeyahay astaamo u gaar ah oo ku saabsan naqshadeynta iyo hawlgalka, wuxuuna ku habboon yahay codsiyada warshadaha iyo meelaha cilmi-baarista ee kala duwan. Iyadoo la horumarinayo tiknoolajiyada, tignoolajiyada dahaarka faakuumka ayaa sidoo kale horumaraysa, qalab cusub oo dahaarka faakuumka ahna ayaa sidoo kale soo baxaya.

– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’Mashiinka dahaadhka faakuumkasoo saaraha Guangdong Zhenhua