వాక్యూమ్ కోటింగ్ పరికరాల వర్గీకరణలు ఏమిటి?

వాక్యూమ్ కోటింగ్ టెక్నాలజీ అనేది వాక్యూమ్ వాతావరణంలో సబ్‌స్ట్రేట్ పదార్థాల ఉపరితలంపై పలుచని ఫిల్మ్ పదార్థాలను నిక్షేపించే ఒక సాంకేతికత, ఇది ఎలక్ట్రానిక్స్, ఆప్టిక్స్, ప్యాకేజింగ్, అలంకరణ మరియు ఇతర రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. వాక్యూమ్ కోటింగ్ పరికరాలను ప్రధానంగా ఈ క్రింది రకాలుగా విభజించవచ్చు:

1. థర్మల్ ఎవాపరేషన్ కోటింగ్ పరికరాలు: ఇది అత్యంత సాంప్రదాయ వాక్యూమ్ కోటింగ్ పద్ధతి, దీనిలో ఎవాపరేషన్ బోట్‌లో పలుచని ఫిల్మ్ పదార్థాన్ని వేడి చేయడం ద్వారా, ఆ పదార్థం ఆవిరైపోయి సబ్‌స్ట్రేట్ పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై జమ చేయబడుతుంది.
2. స్పుటరింగ్ కోటింగ్ పరికరాలు: అధిక శక్తి గల అయాన్‌లను ఉపయోగించి టార్గెట్ మెటీరియల్ ఉపరితలంపై తాకించడం ద్వారా, టార్గెట్ మెటీరియల్ అణువులు స్పుటరింగ్ చేయబడి సబ్‌స్ట్రేట్ మెటీరియల్‌పై జమ చేయబడతాయి. మాగ్నెట్రాన్ స్పుటరింగ్ ద్వారా ఫిల్మ్ యొక్క మరింత ఏకరీతి మరియు బలమైన అతుకును పొందవచ్చు, ఇది భారీ ఉత్పత్తికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
3. అయాన్ బీమ్ డిపోజిషన్ పరికరాలు: సబ్‌స్ట్రేట్‌పై పలుచని ఫిల్మ్ పదార్థాలను డిపాజిట్ చేయడానికి అయాన్ బీమ్‌లను ఉపయోగిస్తారు. ఈ పద్ధతి ద్వారా చాలా ఏకరీతి ఫిల్మ్‌లను పొందవచ్చు మరియు అధిక ఖచ్చితత్వ అవసరాలు ఉన్న సందర్భాలకు ఇది అనుకూలంగా ఉంటుంది, కానీ పరికరాల ఖర్చు అధికంగా ఉంటుంది.
4. కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (CVD) పరికరాలు: రసాయన చర్య ద్వారా సబ్‌స్ట్రేట్ పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై పలుచని పొరలను ఏర్పరుస్తాయి. ఈ పద్ధతి ద్వారా అధిక-నాణ్యత గల, బహుళ-జాతుల పొరలను తయారు చేయవచ్చు, కానీ ఈ పరికరాలు సంక్లిష్టమైనవి మరియు ఖరీదైనవి.
5. మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీ (MBE) పరికరం: ఇది పరమాణు స్థాయిలో పలుచని పొరల పెరుగుదలను నియంత్రించే ఒక పద్ధతి మరియు దీనిని ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ మరియు నానోటెక్నాలజీ అనువర్తనాల కోసం అతి పలుచని పొరలు మరియు బహుళపొర నిర్మాణాల తయారీకి ఉపయోగిస్తారు.
6. ప్లాస్మా ఎన్‌హాన్స్‌డ్ కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (PECVD) పరికరాలు: ఇది ఒక రసాయన చర్య ద్వారా పలుచని పొరల నిక్షేపణను మెరుగుపరచడానికి ప్లాస్మాను ఉపయోగించే ఒక సాంకేతికత, ఇది తక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పలుచని పొరలను వేగంగా ఏర్పరచడానికి వీలు కల్పిస్తుంది.
7. పల్స్డ్ లేజర్ డిపోజిషన్ (PLD) పరికరాలు: ఇవి అధిక-శక్తి లేజర్ పల్స్‌లను ఉపయోగించి ఒక టార్గెట్‌ను తాకి, టార్గెట్ ఉపరితలం నుండి పదార్థాన్ని ఆవిరి చేసి, దానిని సబ్‌స్ట్రేట్‌పై జమ చేస్తాయి మరియు అధిక-నాణ్యత, సంక్లిష్ట ఆక్సైడ్ ఫిల్మ్‌లను పెంచడానికి అనుకూలంగా ఉంటాయి.
ఈ పరికరాలలో ప్రతిదానికీ రూపకల్పన మరియు పనితీరులో దాని స్వంత లక్షణాలు ఉన్నాయి మరియు అవి వివిధ పారిశ్రామిక అనువర్తనాలకు మరియు పరిశోధనా రంగాలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి. సాంకేతిక పరిజ్ఞానం అభివృద్ధి చెందడంతో, వాక్యూమ్ కోటింగ్ టెక్నాలజీ కూడా పురోగమిస్తోంది మరియు కొత్త వాక్యూమ్ కోటింగ్ పరికరాలు కూడా ఆవిర్భవిస్తున్నాయి.

–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్రంతయారీదారు గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా