Vakuumli qoplama texnologiyasi - bu vakuum muhitida substrat materiallari yuzasiga yupqa plyonkali materiallarni yotqizish texnologiyasi bo'lib, u elektronika, optika, qadoqlash, bezatish va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi. Vakuumli qoplama uskunalarini asosan quyidagi turlarga bo'lish mumkin:
1. Termik bug'lanish qoplama uskunasi: bu eng an'anaviy vakuum qoplama usuli bo'lib, bug'lanish qayig'ida yupqa plyonkali materialni qizdirish orqali material bug'lanadi va substrat materialining yuzasiga yotqiziladi.
2. Purkash qoplama uskunasi: maqsadli material yuzasiga yuqori energiyali ionlar yordamida urilib, maqsadli material atomlari purkaladi va substrat materialiga cho'ktiriladi. Magnetron purkash plyonkaning bir tekis va kuchliroq yopishishini ta'minlaydi, bu esa ommaviy ishlab chiqarish uchun mos keladi.
3. Ion nurlarini yotqizish uskunalari: Ion nurlari yupqa plyonkali materiallarni substratga yotqizish uchun ishlatiladi. Bu usul juda bir xil plyonkalarni olish imkonini beradi va yuqori aniqlik talablariga javob beradigan holatlar uchun mos keladi, ammo uskunaning narxi yuqori.
4. Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (KBCh) uskunasi: Kimyoviy reaksiya orqali substrat materiali yuzasida yupqa plyonkalar hosil qiladi. Bu usul yuqori sifatli, ko'p turdagi plyonkalarni tayyorlashi mumkin, ammo uskunalar murakkab va qimmat.
5. Molekulyar nurli epitaksiya (MBE) uskunasi: Bu atom darajasida yupqa plyonkalarning o'sishini nazorat qilish usuli bo'lib, asosan yarimo'tkazgichlar va nanotexnologiyalar uchun ultra yupqa qatlamlar va ko'p qatlamli tuzilmalarni tayyorlash uchun ishlatiladi.
6. Plazma bilan kuchaytirilgan kimyoviy bug' cho'ktirish (PECVD) uskunasi: Bu kimyoviy reaksiya orqali yupqa plyonkalarning cho'kishini kuchaytirish uchun plazmadan foydalanadigan usul bo'lib, past haroratlarda yupqa plyonkalarning tez hosil bo'lishiga imkon beradi.
7. Impulsli lazerli cho'ktirish (PLD) qurilmalari: Bu qurilmalar nishonga zarba berish, materialni nishon yuzasidan bug'latish va uni substratga joylashtirish uchun yuqori energiyali lazer impulslaridan foydalanadi va yuqori sifatli, murakkab oksid plyonkalarini o'stirish uchun mos keladi.
Ushbu qurilmalarning har biri dizayn va foydalanishda o'ziga xos xususiyatlarga ega va turli sanoat qo'llanmalari va tadqiqot sohalari uchun mos keladi. Texnologiyaning rivojlanishi bilan vakuumli qoplama texnologiyasi ham rivojlanmoqda va yangi vakuumli qoplama uskunalari ham paydo bo'lmoqda.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasiishlab chiqaruvchi Guangdong Zhenhua
Nashr vaqti: 2024-yil 12-iyun