Téhnologi palapis vakum nyaéta téknologi anu neundeun bahan pilem ipis kana permukaan bahan substrat dina lingkungan vakum, anu seueur dianggo dina éléktronika, optik, kemasan, hiasan sareng widang sanésna. Peralatan palapis vakum utamina tiasa dibagi kana jinis-jinis ieu:
1. Alat palapis penguapan termal: ieu mangrupikeun metode palapis vakum anu paling tradisional, ku cara manaskeun bahan pilem ipis dina parahu penguapan, bahan éta diuapkeun sareng disimpen dina permukaan bahan substrat.
2. Alat palapis sputtering: nganggo ion énergi tinggi pikeun pencét permukaan bahan target, atom bahan target disputtering sareng disimpen kana bahan substrat. Magnetron sputtering tiasa kéngingkeun adhesi pilem anu langkung seragam sareng langkung kuat, cocog pikeun produksi massal.
3. Alat déposisi sinar ion: Sinar ion dianggo pikeun neundeun bahan pilem ipis kana substrat. Métode ieu tiasa kéngingkeun pilem anu seragam pisan sareng cocog pikeun acara anu sarat presisi anu luhur, tapi biaya alatna mahal.
4. Peralatan Déposisi Uap Kimia (CVD): Ngabentuk pilem ipis dina permukaan bahan substrat ngaliwatan réaksi kimia. Métode ieu tiasa nyiapkeun pilem multi-spésiés anu kualitasna luhur, tapi peralatanna rumit sareng mahal.
5. Peralatan Molecular Beam Epitaxy (MBE): Ieu mangrupikeun metode pikeun ngontrol kamekaran pilem ipis dina tingkat atom sareng utamina dianggo pikeun persiapan lapisan ultra-ipis sareng struktur multilayer pikeun aplikasi semikonduktor sareng nanotéhnologi.
6. Peralatan Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD): Ieu mangrupikeun téknik anu nganggo plasma pikeun ningkatkeun déposisi pilem ipis ku réaksi kimia, anu ngamungkinkeun formasi pilem ipis anu gancang dina suhu anu langkung handap.
7. Alat Déposisi Laser Berdenyut (PLD): Ieu nganggo pulsa laser énergi tinggi pikeun nyerang target, nguapkeun bahan tina permukaan target sareng neundeunna kana substrat, sareng cocog pikeun melak pilem oksida kompléks anu kualitasna luhur.
Unggal alat ieu ngagaduhan ciri khas sorangan dina desain sareng operasi sareng cocog pikeun aplikasi industri sareng widang panalungtikan anu béda. Kalayan kamekaran téknologi, téknologi palapis vakum ogé maju, sareng alat palapis vakum énggal ogé muncul.
–Tulisan ieu dipedalkeun kumesin palapis vakumprodusén Guangdong Zhenhua
Waktos posting: 12 Juni 2024