Theknoloji ea ho koahela ka vacuum ke theknoloji e behang thepa e tšesaane ea filimi holim'a thepa ea substrate tlas'a tikoloho ea vacuum, e sebelisoang haholo li-elektroniki, optics, liphutheloana, mekhabiso le masimo a mang. Lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum li ka aroloa ka mefuta e latelang haholo-holo:
1. Lisebelisoa tsa ho roala ka mouoane o chesang: ena ke mokhoa oa setso oa ho roala ka vacuum, ka ho futhumatsa thepa e tšesaane ea filimi ka sekepeng sa mouoane, thepa e fetoha mouoane ebe e beoa holim'a thepa ea substrate.
2. Lisebelisoa tsa ho koahela ka ho phunya: ho sebelisoa li-ion tse nang le matla a mangata ho otla bokaholimo ba thepa e reretsoeng, liathomo tsa thepa e reretsoeng li phunya 'me li kenngoa thepang ea substrate. Ho phunya ka ho phunya ha Magnetron ho khona ho fumana ho khomarela filimi ka mokhoa o ts'oanang le o matla haholoanyane, ho loketse tlhahiso ea bongata.
3. Lisebelisoa tsa ho bea mahlaseli a ione: Mahlasedi a ione a sebediswa ho bea disebediswa tse tshesane tsa filimi hodima substrate. Mokhoa ona o ka fumana difilimi tse tshwanang haholo mme o loketse dinako tse nang le ditlhoko tse phahameng tsa ho nepahala, empa ditjeo tsa disebediswa di hodimo.
4. Sesebelisoa sa ho tlosa mouoane oa lik'hemik'hale (CVD): Se etsa lifilimi tse tšesaane holim'a thepa ea substrate ka karabelo ea lik'hemik'hale. Mokhoa ona o ka lokisa lifilimi tsa boleng bo holimo, tsa mefuta e mengata, empa lisebelisoa li rarahane ebile lia tura.
5. Lisebelisoa tsa Molecular Beam Epitaxy (MBE): Ena ke mokhoa oa ho laola kholo ea lifilimi tse tšesaane boemong ba athomo 'me o sebelisoa haholo bakeng sa ho lokisa mekhahlelo e mesesaane haholo le meaho ea mekhahlelo e mengata bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor le nanotechnology.
6. Lisebelisoa tsa ho Ntša Mouoane o Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD): Ena ke mokhoa o sebelisang plasma ho ntlafatsa ho beoa ha lifilimi tse tšesaane ka karabelo ea lik'hemik'hale, e leng se lumellang ho thehoa ka potlako ha lifilimi tse tšesaane mochesong o tlase.
7. Disebediswa tsa Pulsed Laser Deposition (PLD): Tsena di sebedisa di-pulse tsa laser tse nang le matla a mangata ho otla sepheo, ho fetola thepa ho tloha hodima sepheo le ho e kenya hodima substrate, mme di loketse ho hodisa difilimi tsa oxide tsa boleng bo hodimo, tse rarahaneng.
Sesebediswa se seng le se seng sa tsena se na le dibopeho tsa sona ka moralo le tshebetso mme se loketse dikopo tse fapaneng tsa indasteri le dibaka tsa dipatlisiso. Ka ntshetsopele ya theknoloji, theknoloji ya ho kwahela ka vacuum le yona e ntse e tswela pele, mme disebediswa tse ntjha tsa ho kwahela ka vacuum le tsona di a hlaha.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemochini o koahelang ka lephakamoetsi Guangdong Zhenhua
Nako ea poso: Phuptjane-12-2024