Teknologi salutan vakum ialah teknologi yang memendapkan bahan filem nipis ke permukaan bahan substrat di bawah persekitaran vakum, yang digunakan secara meluas dalam bidang elektronik, optik, pembungkusan, hiasan dan lain-lain. Peralatan salutan vakum boleh dibahagikan terutamanya kepada jenis berikut:
1. Peralatan salutan penyejatan haba: ini adalah kaedah salutan vakum yang paling tradisional, dengan memanaskan bahan filem nipis di dalam bot penyejatan, bahan tersebut disejat dan dimendapkan ke permukaan bahan substrat.
2. Peralatan salutan percikan: menggunakan ion bertenaga tinggi untuk mengenai permukaan bahan sasaran, atom bahan sasaran akan terpercik dan dimendapkan ke bahan substrat. Percikan magnetron dapat memperoleh lekatan filem yang lebih seragam dan lebih kuat, sesuai untuk pengeluaran besar-besaran.
3. Peralatan pemendapan pancaran ion: Pancaran ion digunakan untuk memendapkan bahan filem nipis ke atas substrat. Kaedah ini boleh mendapatkan filem yang sangat seragam dan sesuai untuk keadaan dengan keperluan ketepatan yang tinggi, tetapi kos peralatannya tinggi.
4. Peralatan Pemendapan Wap Kimia (CVD): Membentuk filem nipis pada permukaan bahan substrat melalui tindak balas kimia. Kaedah ini boleh menyediakan filem berbilang spesies yang berkualiti tinggi, tetapi peralatannya kompleks dan mahal.
5. Peralatan Epitaksi Alur Molekul (MBE): Ini adalah kaedah untuk mengawal pertumbuhan filem nipis pada peringkat atom dan digunakan terutamanya untuk penyediaan lapisan ultra nipis dan struktur berbilang lapisan untuk aplikasi semikonduktor dan nanoteknologi.
6. Peralatan Pemendapan Wap Kimia Dipertingkat Plasma (PECVD): Ini adalah teknik yang menggunakan plasma untuk meningkatkan pemendapan filem nipis melalui tindak balas kimia, yang membolehkan pembentukan filem nipis yang cepat pada suhu yang lebih rendah.
7. Peranti Pemendapan Laser Berdenyut (PLD): Peranti ini menggunakan denyutan laser bertenaga tinggi untuk mengenai sasaran, menyejatkan bahan dari permukaan sasaran dan memendapkannya ke substrat, serta sesuai untuk menumbuhkan filem oksida kompleks yang berkualiti tinggi.
Setiap peranti ini mempunyai ciri-ciri tersendiri dalam reka bentuk dan operasi dan sesuai untuk aplikasi perindustrian dan bidang penyelidikan yang berbeza. Dengan perkembangan teknologi, teknologi salutan vakum juga semakin maju, dan peralatan salutan vakum baharu juga muncul.
–Artikel ini dikeluarkan olehmesin salutan vakumpengilang Guangdong Zhenhua
Masa siaran: 12 Jun 2024