Вакуум бүрэх технологи нь вакуум орчинд суурь материалын гадаргуу дээр нимгэн хальсан материалыг хуримтлуулдаг технологи бөгөөд электроник, оптик, сав баглаа боодол, чимэглэл болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Вакуум бүрэх төхөөрөмжийг голчлон дараах төрлүүдэд хувааж болно.
1. Дулааны ууршилтын бүрэх төхөөрөмж: энэ нь хамгийн уламжлалт вакуум бүрэх арга бөгөөд ууршилтын завинд нимгэн хальсан материалыг халааж, материалыг ууршуулж, суурь материалын гадаргуу дээр хуримтлуулдаг.
2. Шүршигч бүрхүүлийн тоног төхөөрөмж: өндөр энергийн ионуудыг ашиглан зорилтот материалын гадаргуу дээр цохиж, зорилтот материалын атомуудыг шүршиж, суурь материалд хуримтлуулдаг. Магнетрон шүршигч нь хальсыг илүү жигд, илүү бат бөх наалдуулах боломжийг олгодог бөгөөд масс үйлдвэрлэлд тохиромжтой.
3. Ионы цацрагийн хуримтлалын төхөөрөмж: Ионы цацрагийг нимгэн хальсан материалыг суурь дээр хуримтлуулахад ашигладаг. Энэ арга нь маш жигд хальс гаргаж авах боломжтой бөгөөд өндөр нарийвчлалтай нөхцөлд тохиромжтой боловч төхөөрөмжийн өртөг өндөр байдаг.
4. Химийн уурын тунадасжуулалт (ХУТТ) тоног төхөөрөмж: Химийн урвалаар суурь материалын гадаргуу дээр нимгэн хальс үүсгэдэг. Энэ аргаар өндөр чанартай, олон төрлийн хальс бэлтгэх боломжтой боловч тоног төхөөрөмж нь нарийн төвөгтэй бөгөөд үнэтэй байдаг.
5. Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE) төхөөрөмж: Энэ нь атомын түвшинд нимгэн хальсны ургалтыг хянах арга бөгөөд голчлон хагас дамжуулагч болон нанотехнологийн хэрэглээнд зориулсан хэт нимгэн давхарга болон олон давхаргат бүтцийг бэлтгэхэд ашиглагддаг.
6. Плазмын сайжруулсан химийн уурын тунадасжуулалт (PECVD) төхөөрөмж: Энэ нь плазмыг ашиглан химийн урвалаар нимгэн хальсны тунадасыг сайжруулдаг арга бөгөөд бага температурт нимгэн хальс хурдан үүсэх боломжийг олгодог.
7. Импульсийн лазер тунадасжуулалт (PLD) төхөөрөмжүүд: Эдгээр нь өндөр энергийн лазер импульс ашиглан байг онож, байны гадаргуугаас материалыг ууршуулж, суурь дээр байрлуулдаг бөгөөд өндөр чанартай, нарийн төвөгтэй исэл хальс ургуулахад тохиромжтой.
Эдгээр төхөөрөмж бүр нь дизайн, ашиглалтын хувьд өөрийн гэсэн онцлогтой бөгөөд үйлдвэрлэлийн янз бүрийн хэрэглээ болон судалгааны салбарт тохиромжтой. Технологийн хөгжлийг дагаад вакуум бүрэх технологи ч мөн хөгжиж, шинэ вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж гарч ирж байна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машинүйлдвэрлэгч Гуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 6-р сарын 12