Вакуум каплау технологиясе - вакуум мохитендә субстрат материаллары өслегенә юка пленка материалларын урнаштыру технологиясе, ул электроника, оптика, төрү, бизәү һәм башка өлкәләрдә киң кулланыла. Вакуум каплау җиһазларын, нигездә, түбәндәге төрләргә бүлергә мөмкин:
1. Термик парга әйләндерү каплау җиһазлары: бу иң традицион вакуум каплау ысулы, парга әйләндерү көймәсендә юка пленка материалын җылыту аша материал парга әйләнә һәм субстрат материалы өслегенә урнаштырыла.
2. Сиптерү каплау җиһазлары: максатлы материал өслегенә бәрү өчен югары энергияле ионнар кулланып, максатлы материал атомнары сиптерелә һәм субстрат материалына урнаштырыла. Магнетрон сиптерү пленканың тигезрәк һәм ныграк ябышуына ирешә ала, бу массакүләм җитештерү өчен яраклы.
3. Ион нурларын урнаштыру җиһазлары: Ион нурлары нечкә пленка материалларын нигезгә урнаштыру өчен кулланыла. Бу ысул бик бердәм пленкалар алырга мөмкинлек бирә һәм югары төгәллек таләпләре булган очраклар өчен яраклы, ләкин җиһазларның бәясе югары.
4. Химик пар чыгару (ХПТ) җиһазлары: Химик реакция аша субстрат материалы өслегендә юка пленкалар барлыкка китерә. Бу ысул югары сыйфатлы, күп төрле пленкалар әзерләргә мөмкин, ләкин җиһазлар катлаулы һәм кыйммәт.
5. Молекуляр нур эпитаксисы (MBE) җиһазлары: Бу атом дәрәҗәсендә юка пленкалар үсешен контрольдә тоту ысулы һәм нигездә ярымүткәргечләр һәм нанотехнологияләр өчен ультра-нечкә катламнар һәм күп катламлы структуралар әзерләү өчен кулланыла.
6. Плазма белән көчәйтелгән химик пар чыгару (PECVD) җиһазы: Бу - плазма ярдәмендә юка пленкаларның химик реакция ярдәмендә туплануын көчәйтү ысулы, түбән температураларда юка пленкаларның тиз формалашуына мөмкинлек бирә.
7. Импульслы лазерлы урнаштыру (PLD) җайланмалары: Алар максатка тию, максат өслегеннән материалны парга әйләндерү һәм аны субстратка урнаштыру өчен югары энергияле лазер импульсларын кулланалар, һәм югары сыйфатлы, катлаулы оксид пленкалары үстерү өчен яраклы.
Бу җайланмаларның һәрберсенең конструкцияләү һәм эксплуатацияләүдә үз үзенчәлекләре бар һәм алар төрле сәнәгать кушымталары һәм тикшеренү өлкәләре өчен яраклы. Технология үсеше белән бергә вакуум каплау технологиясе дә алга китә, һәм яңа вакуум каплау җиһазлары да барлыкка килә.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасыҗитештерүче Гуандун Чжэнхуа
Бастырылган вакыты: 2024 елның 12 июне