Wakuum örtük tehnologiýasy, elektronika, optika, gaplamak, bezeg we beýleki ugurlarda giňden ulanylýan wakuum gurşawynda substrat materiallarynyň ýüzüne inçe film materiallaryny goýýan tehnologiýa. Wakuum örtük enjamlaryny esasan aşakdaky görnüşlere bölmek bolar:
1.
2. Tüýdük örtük enjamlary: maksatly materialyň üstüne urmak üçin ýokary energiýaly ionlary ulanyp, maksatly atomlar dökülýär we substrat materialyna goýulýar. Magnetron tüýdügi köpçülikleýin önümçilik üçin amatly filmiň has birmeňzeş we has güýçli ýelmeşmegini gazanmagy başarýar.
3.Ion şöhlelendiriş enjamlary: Ion şöhleleri inçe film materiallaryny substrata goýmak üçin ulanylýar. Bu usul gaty birmeňzeş filmleri alyp biler we ýokary takyklyk talaplary bolan ýagdaýlar üçin amatly, ýöne enjamyň bahasy gaty ýokary.
4. Himiki bug çöketligi (CVD) enjamlary: Himiki reaksiýa arkaly substrat materialyň üstünde inçe filmleri emele getirýär. Bu usul ýokary hilli, köp görnüşli filmleri taýýarlap biler, ýöne enjam çylşyrymly we gymmat.
5. Molekulýar şöhle epitaksiýasy (MBE) enjamlary: Bu atom derejesinde inçe filmleriň ösüşine gözegçilik etmegiň usulydyr we esasan ýarymgeçiriji we nanotehnologiýa goşundylary üçin ultra inçe gatlaklary we köp gatlakly gurluşlary taýýarlamak üçin ulanylýar.
6.
7.
Bu enjamlaryň hersiniň dizaýn we işleýiş aýratynlyklary bar we dürli önümçilik goşundylary we gözleg ugurlary üçin amatly. Tehnologiýanyň ösmegi bilen wakuum örtük tehnologiýasy hem ösýär we vakuum örtük enjamlary hem ýüze çykýar.
IsBu makala çap edildivakuum örtük enjamyöndüriji Guangdong Zhenhua
Iş wagty: Iýun-12-2024