Wakuum magnitronyň dökülmegi reaktiw çöketlik örtükleri üçin aýratyn amatlydyr.Aslynda bu amal islendik oksidiň, karbidiň we nitridiň inçe filmlerini goýup biler.Mundan başga-da, bu amal optiki dizaýnlar, reňkli filmler, könelişmeýän örtükler, nano-laminatlar, ajaýyp örtükler, izolýasiýa filmleri we ş.m. ýaly köp gatly film gurluşlaryny ýerleşdirmek üçin has amatlydyr. 1970-nji ýyldan başlap ýokary hilli optiki film çöketlik mysallary dürli optiki film gatlak materiallary üçin işlenip düzüldi.Bu materiallara aç-açan geçiriji materiallar, ýarymgeçirijiler, polimerler, oksidler, karbidler we nitridler girýär, floridler bugarýan örtük ýaly proseslerde ulanylýar.
Magnitronyň dökülmeginiň esasy artykmaçlygy, bu materiallaryň gatlaklaryny goýmak we reaktiw ýa-da reaktiw däl örtük amallaryny ulanmak we gatlak düzümine, filmiň galyňlygyna, filmiň galyňlygynyň birmeňzeşligine we gatlagyň mehaniki aýratynlyklaryna gowy gözegçilik etmekdir.Amal aşakdaky ýaly aýratynlyklara eýedir.
1 、 Uly depozit derejesi.Speedokary tizlikli magnitron elektrodlaryň ulanylmagy sebäpli bu örtük prosesiniň çökdüriliş tizligini we tüýkürme tizligini netijeli gowulandyryp, uly ion akymyny alyp bolýar.Beýleki tüýdük örtük amallary bilen deňeşdirilende, magnitron tüýdügi ýokary kuwwata we ýokary hasyllylyga eýe bolup, dürli önümçilikde giňden ulanylýar.
2 power powerokary güýç netijeliligi.Magnetron tüýdük nyşany, adatça, 200V-1000V diapazonda naprýa .eniýäni saýlaýar, adatça 600V bolýar, sebäbi 600V naprýa .eniýe güýç netijeliliginiň iň ýokary çäginde.
3. Pes tüýdük energiýasy.Magnitronyň naprýa .eniýesi pes ulanylýar we magnit meýdany katodyň golaýyndaky plazmany çäklendirýär, bu ýokary energiýa zarýadly bölejikleriň substrata çykmagyna päsgel berýär.
4 、 Pes substrat temperaturasy.Anod, çykaryş döwründe emele gelen elektronlary ugrukdyrmak üçin ulanylyp bilner, substratyň goldawynyň zerurlygy ýok, bu substratyň elektron bombasyny netijeli azaldyp biler.Şeýlelik bilen, ýokary temperatura örtügine gaty çydamly bolmadyk käbir plastmassa substratlar üçin örän amatly substratyň temperaturasy pesdir.
5, “Magnetron” tüýdükli nyşanyň üstki görnüşi birmeňzeş däl.Magnitronyň tüýkürýän nyşanyň üstki tekizligi nyşanyň deň däl magnit meýdany sebäpli ýüze çykýar.Maksady nyşana almagyň derejesi has uludyr, şonuň üçin nyşanyň täsirli ulanylyş derejesi pes bolar (diňe 20-30% ulanyş derejesi).Şonuň üçin maksat ulanylyşyny gowulandyrmak üçin magnit meýdanynyň paýlanyşyny belli bir usullar bilen üýtgetmeli ýa-da katodda hereket edýän magnitleriň ulanylmagy hem maksatly ulanylyşy gowulaşdyryp biler.
6 os Birleşdirilen maksat.Birleşdirilen maksatly örtük garyndy filmini ýasap biler.Häzirki wagtda birleşdirilen magnitron maksatly tüýkürmek prosesi Ta-Ti garyndysy, (Tb-Dy) -Fe we Gb-Co garyndy filminde üstünlikli örtüldi.Kompozit maksatly gurluşyň degişlilikde dört görnüşi bar, tegelek örtülen nyşan, inedördül örtülen nyşan, kiçi inedördül örtülen maksat we sektor bilen örtülen maksat.Maksatly gurluşy örtülen pudagy ulanmak has gowudyr.
7. Goýmalaryň giň gerimi.Magnitronyň dökülmegi köp elementleri goýup biler, umumy elementler: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti , Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO we ş.m.
Magnetron tüýdügi ýokary hilli film almak üçin iň köp ulanylýan örtük proseslerinden biridir.Täze katod bilen, ýokary maksatly ulanylyşy we ýokary depozit derejesi bar.“Guangdong Zhenhua Technology” wakuum magnitron tüýdük örtügi prosesi häzirki wagtda uly meýdan substratlarynyň örtüginde giňden ulanylýar.Bu amal diňe bir gatly film çökdürmek üçin däl, eýsem köp gatlakly film örtügi üçin hem ulanylýar, üstesine-de, film, optiki film, laminasiýa we beýleki film örtükleri gaplamak üçin rulonda ulanylýar.
Iş wagty: Noýabr-07-2022