Wakuum magnetron püskürtmesi, aýratyn hem, reaktiw çökündi örtükleri üçin amatlydyr. Aslynda, bu proses islendik oksid, karbid we nitrid materiallarynyň inçe örtüklerini çökdürip biler. Mundan başga-da, bu proses, aýratyn hem, optiki dizaýnlar, reňkli plýonkalar, aşynma garşy örtükler, nano-laminatlar, supertor örtükler, izolýasiýa plýonkalary we ş.m. ýaly köp gatlakly plýonka gurluşlaryny çökdürmek üçin amatlydyr. 1970-nji ýyldan bäri dürli optiki plýonka gatlak materiallary üçin ýokary hilli optiki plýonka çökündileriniň mysallary işlenip düzüldi. Bu materiallara açyk geçiriji materiallar, ýarymgeçirijiler, polimerler, oksidler, karbidler we nitridler girýär, fluoridler bolsa bugardyryjy örtük ýaly proseslerde ulanylýar.
Magnetron püskürtme prosesiniň esasy artykmaçlygy, bu materiallaryň gatlaklaryny goýmak üçin reaktiw ýa-da reaktiw däl örtük proseslerini ulanmak we gatlagyň düzümini, plýonkanyň galyňlygyny, plýonkanyň galyňlygynyň deňligini we mehaniki häsiýetlerini gowy gözegçilikde saklamakdyr. Bu proses aşakdaky häsiýetlere eýedir.
1, Uly çökündi tizligi. Ýokary tizlikli magnetron elektrodlarynyň ulanylmagy sebäpli uly ion akymy alnyp bilner, bu bolsa bu örtük prosesiniň çökündi tizligini we püskürme tizligini netijeli ýokarlandyrýar. Beýleki püskürme örtük prosesleri bilen deňeşdirilende, magnetron püskürme ýokary kuwwatlylyga we ýokary öndürijilige eýedir we dürli senagat önümçiliginde giňden ulanylýar.
2, Ýokary energiýa netijeliligi. Magnetron püskürtme nyşany, adatça, 200V-1000V aralygyndaky naprýaženiýeni saýlaýar, adatça 600V bolýar, sebäbi 600V naprýaženiýe energiýa netijeliliginiň iň ýokary çägindedir.
3. Pes püskürme energiýasy. Magnetron nyşanasynyň naprýaženiýesi pes derejede berilýär we magnit meýdany plazmany katodyň golaýynda saklaýar, bu bolsa ýokary energiýaly zarýadly bölejikleriň substrata uçmagynyň öňüni alýar.
4, Substratyň pes temperaturasy. Anod boşalma wagtynda emele gelen elektronlary ugrukdyrmak üçin ulanylyp bilner, substratyň goldawyna mätäçlik ýok, bu bolsa substratyň elektron bombardmanyny netijeli azaldyp biler. Şeýlelik bilen, substratyň temperaturasy pes bolýar, bu bolsa ýokary temperatura örtügine gaty çydamly bolmadyk käbir plastik substratlar üçin örän amatlydyr.
5, Magnetron püskürtme nyşanasynyň ýüzüniň aşynmagy deň däl. Magnetron püskürtme nyşanasynyň ýüzüniň aşynmagynyň deň däl bolmagy nyşanasynyň deňsiz magnit meýdany sebäpli ýüze çykýar. Nyşanyň aşynma tizligi has uly bolýar, şonuň üçin nyşanasynyň netijeli ulanylyş tizligi pes bolýar (diňe 20-30% ulanylyş tizligi). Şonuň üçin nyşanasynyň ulanylyşyny gowulandyrmak üçin magnit meýdanynyň paýlanyşyny belli bir usullar bilen üýtgetmek gerek ýa-da katodda hereket edýän magnitleri ulanmak nyşanasynyň ulanylyşyny hem gowulandyryp biler.
6, Kompozit nyşana. Kompozit nyşana örtük legir plýonkasyny ýasap bolýar. Häzirki wagtda kompozit magnetron nyşana püskürtme prosesi Ta-Ti legir, (Tb-Dy)-Fe we Gb-Co legir plýonkasyna üstünlikli örtüldi. Kompozit nyşana gurluşynyň dört görnüşi bar, degişlilikde tegelek inkrustirlenen nyşana, kwadrat inkrustirlenen nyşana, kiçi kwadrat inkrustirlenen nyşana we sektor inkrustirlenen nyşana. Sektor inkrustirlenen nyşana gurluşyny ulanmak has gowy.
7. Ulanylyşynyň giň gerimi. Magnetron püskürtme prosesi köp elementleri ýerleşdirip biler, olaryň umumy görnüşleri: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO we ş.m.
Magnetron püskürtmek ýokary hilli plýonkalary almak üçin iň giňden ulanylýan örtük prosesleriniň biridir. Täze katod bilen ol ýokary maksatly ulanyşa we ýokary çökündi tizligine eýedir. Guangdong Zhenhua Technology wakuum magnetron püskürtmek örtük prosesi häzirki wagtda uly meýdanly substratlaryň örtülmeginde giňden ulanylýar. Bu proses diňe bir gatlakly plýonka çökündisi üçin däl, eýsem köp gatlakly plýonka örtügi üçin hem ulanylýar, mundan başga-da, ol plýonkany gaplamak, optiki plýonka, laminasiýa we beýleki plýonka örtügi üçin rulondan rulona geçirmek prosesinde hem ulanylýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 7-nji noýabry