ನಿರ್ವಾತ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳ ತಾಂತ್ರಿಕ ಲಕ್ಷಣಗಳು

ನಿರ್ವಾತ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಠೇವಣಿ ಲೇಪನಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.ವಾಸ್ತವವಾಗಿ, ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಯಾವುದೇ ಆಕ್ಸೈಡ್, ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಮತ್ತು ನೈಟ್ರೈಡ್ ವಸ್ತುಗಳ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಬಹುದು.ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವಿನ್ಯಾಸಗಳು, ಕಲರ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು, ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ಲೇಪನಗಳು, ನ್ಯಾನೊ-ಲ್ಯಾಮಿನೇಟ್‌ಗಳು, ಸೂಪರ್‌ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ಕೋಟಿಂಗ್‌ಗಳು, ಇನ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಬಹುಪದರದ ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆಗಳ ಶೇಖರಣೆಗೆ ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. 1970 ರಲ್ಲಿ, ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಫಿಲ್ಮ್. ವಿವಿಧ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಯರ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಠೇವಣಿ ಉದಾಹರಣೆಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಗಿದೆ.ಈ ವಸ್ತುಗಳಲ್ಲಿ ಪಾರದರ್ಶಕ ವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳು, ಅರೆವಾಹಕಗಳು, ಪಾಲಿಮರ್‌ಗಳು, ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳು, ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ನೈಟ್ರೈಡ್‌ಗಳು ಸೇರಿವೆ, ಆದರೆ ಫ್ಲೋರೈಡ್‌ಗಳನ್ನು ಆವಿಯಾಗುವ ಲೇಪನದಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮುಖ್ಯ ಪ್ರಯೋಜನವೆಂದರೆ ಈ ವಸ್ತುಗಳ ಪದರಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅಥವಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಲ್ಲದ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು ಮತ್ತು ಪದರದ ಸಂಯೋಜನೆ, ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ, ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಪದರದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ನಿಯಂತ್ರಣ.ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

1, ದೊಡ್ಡ ಠೇವಣಿ ದರ.ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳ ಬಳಕೆಯಿಂದಾಗಿ, ದೊಡ್ಡ ಅಯಾನು ಹರಿವನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು, ಈ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಠೇವಣಿ ದರ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ದರವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.ಇತರ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಇದನ್ನು ವಿವಿಧ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

2, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ದಕ್ಷತೆ.ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 200V-1000V ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 600V ಆಗಿರುತ್ತದೆ, ಏಕೆಂದರೆ 600V ಯ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಶಕ್ತಿಯ ದಕ್ಷತೆಯ ಅತ್ಯಂತ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿದೆ.

3. ಕಡಿಮೆ sputtering ಶಕ್ತಿ.ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಅನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಆಯಸ್ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರವು ಕ್ಯಾಥೋಡ್ ಬಳಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಸೀಮಿತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಚಾರ್ಜ್ಡ್ ಕಣಗಳನ್ನು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಪ್ರಾರಂಭಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.

4, ಕಡಿಮೆ ತಲಾಧಾರ ತಾಪಮಾನ.ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳನ್ನು ಮಾರ್ಗದರ್ಶನ ಮಾಡಲು ಆನೋಡ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು, ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲು ತಲಾಧಾರದ ಬೆಂಬಲದ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲ, ಇದು ತಲಾಧಾರದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.ಹೀಗಾಗಿ ತಲಾಧಾರದ ಉಷ್ಣತೆಯು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಲೇಪನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕವಾಗಿರದ ಕೆಲವು ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್ ತಲಾಧಾರಗಳಿಗೆ ತುಂಬಾ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

5, ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಗುರಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಎಚ್ಚಣೆ ಏಕರೂಪವಾಗಿಲ್ಲ.ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಮೇಲ್ಮೈ ಎಚ್ಚಣೆ ಅಸಮವಾಗಿ ಗುರಿಯ ಅಸಮ ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಿಂದ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ.ಗುರಿ ಎಚ್ಚಣೆ ದರದ ಸ್ಥಳವು ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಗುರಿಯ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಬಳಕೆಯ ದರವು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ (ಕೇವಲ 20-30% ಬಳಕೆಯ ದರ).ಆದ್ದರಿಂದ, ಗುರಿಯ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು, ಕಾಂತೀಯ ಕ್ಷೇತ್ರದ ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಕೆಲವು ವಿಧಾನಗಳಿಂದ ಬದಲಾಯಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ, ಅಥವಾ ಕ್ಯಾಥೋಡ್‌ನಲ್ಲಿ ಚಲಿಸುವ ಆಯಸ್ಕಾಂತಗಳ ಬಳಕೆಯು ಗುರಿಯ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು.

6, ಸಂಯೋಜಿತ ಗುರಿ.ಸಂಯೋಜಿತ ಗುರಿ ಲೇಪನ ಮಿಶ್ರಲೋಹ ಫಿಲ್ಮ್ ಮಾಡಬಹುದು.ಪ್ರಸ್ತುತ, ಸಂಯೋಜಿತ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಟಾರ್ಗೆಟ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಯಶಸ್ವಿಯಾಗಿ Ta-Ti ಮಿಶ್ರಲೋಹ, (Tb-Dy)-Fe ಮತ್ತು Gb-Co ಮಿಶ್ರಲೋಹ ಫಿಲ್ಮ್ ಮೇಲೆ ಲೇಪಿಸಲಾಗಿದೆ.ಸಂಯೋಜಿತ ಗುರಿ ರಚನೆಯು ಕ್ರಮವಾಗಿ ನಾಲ್ಕು ವಿಧಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಅವುಗಳೆಂದರೆ ಸುತ್ತಿನ ಕೆತ್ತನೆಯ ಗುರಿ, ಚದರ ಕೆತ್ತಲಾದ ಗುರಿ, ಸಣ್ಣ ಚದರ ಕೆತ್ತಲಾದ ಗುರಿ ಮತ್ತು ಸೆಕ್ಟರ್ ಕೆತ್ತಲಾದ ಗುರಿ.ಸೆಕ್ಟರ್ ಒಳಸೇರಿಸಿದ ಗುರಿ ರಚನೆಯ ಬಳಕೆ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ.

7. ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು.ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅನೇಕ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಬಹುದು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾದವುಗಳು: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti , Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, ಇತ್ಯಾದಿ.

ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅತ್ಯಂತ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ.ಹೊಸ ಕ್ಯಾಥೋಡ್‌ನೊಂದಿಗೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಗುರಿ ಬಳಕೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಠೇವಣಿ ದರವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.ಗುವಾಂಗ್‌ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ನಿರ್ವಾತ ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಈಗ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ದೊಡ್ಡ-ಪ್ರದೇಶದ ತಲಾಧಾರಗಳ ಲೇಪನದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಏಕ-ಪದರದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆಗಾಗಿ ಮಾತ್ರವಲ್ಲದೆ ಬಹು-ಪದರದ ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಪನಕ್ಕಾಗಿಯೂ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಜೊತೆಗೆ, ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಫಿಲ್ಮ್, ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಪನಕ್ಕಾಗಿ ರೋಲ್ ಟು ರೋಲ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಇದನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.