Vacuum magnetron sputtering dia mety indrindra ho an'ny reactive deposition coatings.Raha ny marina, io dingana io dia afaka mametraka sarimihetsika manify amin'ny akora oxide, carbide ary nitride.Ankoatr'izay, ny dingana dia mety indrindra amin'ny fametrahana ny firafitry ny sarimihetsika multilayer, ao anatin'izany ny famolavolana optika, sarimihetsika miloko, coatings mahatohitra, nano-laminate, coatings superlattice, sarimihetsika insulating, sns. Tamin'ny taona 1970, sarimihetsika optika avo lenta. Ny ohatra deposition dia novolavolaina ho an'ny fitaovana sosona sarimihetsika optika isan-karazany.Ireo akora ireo dia misy akora conductive mangarahara, semiconductor, polymers, oxides, carbide, ary nitride, raha ny fluoride kosa dia ampiasaina amin'ny dingana toy ny coating evaporative.
Ny tombony lehibe indrindra amin'ny fizotran'ny magnetron sputtering dia ny fampiasana ny fizotran'ny coating mihetsiketsika na tsy mihetsika mba hametrahana ny sosona amin'ireo fitaovana ireo ary ny fanaraha-maso tsara ny firafitry ny sosona, ny hatevin'ny sarimihetsika, ny fitovian'ny hatevin'ny sarimihetsika ary ny toetra mekanika amin'ny sosona.Ny dingana dia manana ny toetra toy izao manaraka izao.
1, Ny tahan'ny deposition lehibe.Noho ny fampiasana electrodes magnetron haingam-pandeha, dia azo atao ny mikoriana ion lehibe, manatsara tsara ny tahan'ny deposition sy ny tahan'ny sputtering amin'ity dingana ity.Raha oharina amin'ny hafa sputtering coating dingana, magnetron sputtering manana fahaiza-manao avo sy avo vokatra, ary be mpampiasa amin'ny famokarana indostrialy isan-karazany.
2. Fahombiazana mahery vaika.Magnetron sputtering kendrena amin'ny ankapobeny mifidy ny malefaka ao anatin'ny isan-karazany ny 200V-1000V, matetika dia 600V, satria ny malefaka ny 600V dia ao anatin'ny avo indrindra mahomby isan-karazany ny hery fahombiazana.
3. Low sputtering angovo.Ampidirina ambany ny tosidra kendrena magnetron, ary ny sahan'andriamby dia mamehy ny plasma akaikin'ny cathode, izay manakana ny poti-potaka misy angovo avo kokoa tsy hivoaka eo amin'ny substrate.
4, ambany substrate mari-pana.Ny anode dia azo ampiasaina amin'ny fitarihana ireo elektronika vokarina mandritra ny fivoahana, tsy mila ny fanohanan'ny substrate mba hamitana, izay afaka mampihena tsara ny daroka baomba elektronika amin'ny substrate.Noho izany dia ambany ny mari-pana amin'ny substrate, izay tena tsara ho an'ny plastika plastika sasany izay tsy mahatohitra ny coating amin'ny hafanana ambony.
5, Magnetron sputtering kendrena ambonin'ny etching dia tsy mitovy.Magnetron sputtering lasibatra etching uneven dia vokatry ny uneven sahan'andriamby ny kendrena.Ny toerana misy ny tahan'ny etching kendrena dia lehibe kokoa, ka ny tahan'ny fampiasana mahomby amin'ny tanjona dia ambany (20-30% ihany ny tahan'ny fampiasana).Noho izany, mba hanatsarana ny fampiasana kendrena, ny fizarana sahan'andriamby dia mila ovaina amin'ny fomba sasany, na ny fampiasana andriamby mihetsika ao amin'ny cathode dia afaka manatsara ny fampiasana kendrena ihany koa.
6. Tanjona mitambatra.Afaka manao fitambarana kendrena coating firaka film.Amin'izao fotoana izao, ny fampiasana ny magnetron kendrena sputtering dingana vita soa aman-tsara mifono amin'ny Ta-Ti firaka, (Tb-Dy) -Fe sy Gb-Co firaka sarimihetsika.Ny firafitry ny kendrena mitambatra dia misy karazany efatra, tsirairay avy, dia ny kendrena voapetaka boribory, ny kendrena voasokitra efamira, ny kendrena voasokitra efamira kely ary ny kendrena voasokitra sehatra.Tsara kokoa ny fampiasana ny rafitra kendrena voapetaka amin'ny sehatra.
7. Fampiharana marobe.Ny fizotran'ny sputtering Magnetron dia afaka mametraka singa maro, ny mahazatra dia: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti , Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, sns.
Magnetron sputtering dia iray amin'ireo dingana coating be mpampiasa indrindra hahazoana sarimihetsika avo lenta.Miaraka amin'ny cathode vaovao, manana tanjona avo lenta izy io ary avo lenta.Guangdong Zhenhua Teknolojia banga magnetron sputtering coating dingana dia be mpampiasa ankehitriny amin'ny coating ny faritra lehibe substrates.Ny dingana dia tsy ampiasaina amin'ny fametrahana sarimihetsika tokana ihany, fa koa ho an'ny coating horonan-tsarimihetsika marobe, ankoatra izany, dia ampiasaina amin'ny horonan-tsarimihetsika ho an'ny horonan-tsarimihetsika fonosana, sarimihetsika optika, lamination ary sarimihetsika hafa.
Fotoana fandefasana: Nov-07-2022