Пошидани магнетронии вакуумӣ махсусан барои рӯйпӯшҳои реактивии таҳшинӣ мувофиқ аст. Дар асл, ин раванд метавонад плёнкаҳои тунуки ҳама гуна маводҳои оксид, карбид ва нитридро таҳшин кунад. Ғайр аз ин, ин раванд инчунин барои таҳшин кардани сохторҳои плёнкаи бисёрқабата, аз ҷумла тарҳҳои оптикӣ, плёнкаҳои ранга, рӯйпӯшҳои фарсудашаванда, наноламинатҳо, рӯйпӯшҳои суперқабатӣ, плёнкаҳои изолятсионӣ ва ғайра махсусан мувофиқ аст. Ҳанӯз дар соли 1970, намунаҳои таҳшин кардани плёнкаи оптикии баландсифат барои як қатор маводҳои қабати плёнкаи оптикӣ таҳия шудаанд. Ин маводҳо маводҳои шаффофи ноқилӣ, нимноқилҳо, полимерҳо, оксидҳо, карбидҳо ва нитридҳоро дар бар мегиранд, дар ҳоле ки фторидҳо дар равандҳо ба монанди рӯйпӯшкунии бухоршаванда истифода мешаванд.
Бартарии асосии раванди пошидани магнетронӣ истифодаи равандҳои рӯйпӯшкунии реактивӣ ё ғайриреактивӣ барои гузоштани қабатҳои ин маводҳо ва назорати хуби таркиби қабат, ғафсии плёнка, якрангии ғафсии плёнка ва хосиятҳои механикии қабат мебошад. Ин раванд хусусиятҳои зеринро дорад.
1, Суръати баланди таҳшиншавӣ. Аз ҳисоби истифодаи электродҳои магнетронии баландсуръат, ҷараёни калони ион ба даст оварда мешавад, ки суръати таҳшиншавӣ ва суръати пошидани ин раванди рӯйпӯшкуниро самаранок беҳтар мекунад. Дар муқоиса бо дигар равандҳои рӯйпӯшкунии пошидани магнетрон, пошидани магнетрон дорои иқтидори баланд ва ҳосили баланд буда, дар истеҳсолоти гуногуни саноатӣ васеъ истифода мешавад.
2, самаранокии баланди барқ. Ҳадафи пошидани магнетронӣ одатан шиддатро дар диапазони 200V-1000V интихоб мекунад, одатан 600V аст, зеро шиддати 600V танҳо дар доираи баландтарин диапазони самаранокии барқ аст.
3. Энергияи пасти пошидани барқ. Шиддати ҳадафи магнетрон паст истифода мешавад ва майдони магнитӣ плазмаро дар наздикии катод маҳдуд мекунад, ки аз партофтани зарраҳои зарядноки дорои энергияи баландтар ба субстрат пешгирӣ мекунад.
4, Ҳарорати пасти субстрат. Анодро барои равона кардани электронҳое, ки ҳангоми холӣшавӣ ба вуҷуд меоянд, истифода бурдан мумкин аст, барои пурра кардани он ба дастгирии субстрат ниёз нест, ки метавонад бомбаборони электрониро ба субстрат самаранок кам кунад. Ҳамин тариқ, ҳарорати субстрат паст аст, ки барои баъзе субстратҳои пластикӣ, ки ба пӯшиши ҳарорати баланд чандон тобовар нестанд, хеле мувофиқ аст.
5, Кандакорӣ дар сатҳи ҳадафи пошидани магнетронӣ яксон нест. Нобаробарии кандакорӣ дар сатҳи ҳадафи пошидани магнетронӣ аз сабаби нобаробарии майдони магнитии ҳадаф ба вуҷуд меояд. Ҷойгиршавии суръати кандакорӣ дар ҳадаф калонтар аст, аз ин рӯ сатҳи истифодаи самараноки ҳадаф паст аст (танҳо сатҳи истифодаи 20-30%). Аз ин рӯ, барои беҳтар кардани истифодаи ҳадаф, тақсимоти майдони магнитӣ бояд бо роҳҳои муайян тағир дода шавад, ё истифодаи магнитҳое, ки дар катод ҳаракат мекунанд, инчунин метавонад истифодаи ҳадафро беҳтар кунад.
6, Ҳадафи композитӣ. Метавонад плёнкаи хӯлаи рӯйпӯши ҳадафи композитӣ созад. Дар айни замон, истифодаи раванди пошидани ҳадафи магнетронии композитӣ бомуваффақият ба плёнкаи хӯлаи Ta-Ti, (Tb-Dy)-Fe ва Gb-Co пӯшонида шудааст. Сохтори ҳадафи композитӣ мутаносибан чор намуд дорад: ҳадафи мудаввар, ҳадафи чоркунҷа, ҳадафи чоркунҷаи хурд ва ҳадафи секторӣ. Истифодаи сохтори ҳадафи секторӣ беҳтар аст.
7. Доираи васеи татбиқ. Раванди пошидани магнетрон метавонад унсурҳои зиёдеро ҷамъ кунад, ки маъмултаринашон инҳоянд: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO ва ғайра.
Пошидани магнетронӣ яке аз равандҳои пӯшишдиҳии васеъ истифодашаванда барои ба даст овардани плёнкаҳои баландсифат мебошад. Бо истифода аз катоди нав, он дорои истифодаи баланди мақсаднок ва суръати баланди таҳшиншавӣ мебошад. Раванди рӯйпӯшкунии пошидани магнетронии вакуумии Guangdong Zhenhua Technology ҳоло дар пӯшонидани субстратҳои масоҳати калон васеъ истифода мешавад. Ин раванд на танҳо барои таҳшинкунии плёнкаи якқабата, балки барои пӯшонидани плёнкаи бисёрқабата низ истифода мешавад, илова бар ин, он инчунин дар раванди печонидан ба печонидан барои бастабандии плёнка, плёнкаи оптикӣ, ламинатсия ва дигар пӯшонидани плёнка истифода мешавад.
Вақти нашр: 07 ноябри соли 2022