Membrana gatlagynyň mehaniki häsiýetlerine ýelmeşme, stres, jemleniş dykyzlygy we ş.m. täsir edýär. Membrana gatlagynyň materialy bilen proses faktorlarynyň arasyndaky baglanyşykdan, membrana gatlagynyň mehaniki güýjüni gowulaşdyrmak islesek, aşakdaky proses parametrlerine üns bermelidigimizi görmek bolýar:
(1) wakuum derejesi. Filmiň ýerine ýetirilişine boşluk düşnüklidir. Film gatlagynyň öndürijilik görkezijileriniň köpüsi wakuum derejesine gaty baglydyr. Adatça wakuum derejesi ýokarlanansoň, filmiň jemleniş dykyzlygy ýokarlanýar, berklik ýokarlanýar, filmiň gurluşy gowulaşýar, himiki düzümi arassalanýar, şol bir wagtyň özünde stres hem ýokarlanýar.
(2) Depozit derejesi Çökdüriliş derejesini ýokarlandyrmak diňe bir bugarmagyň tizligini ýokarlandyrmak üçin ulanylman, bugarmak çeşmesiniň temperatura çemeleşmesini ýokarlandyrmak üçin, bugarmak çeşmesiniň meýdany çemeleşmesini ýokarlandyrmak üçin hem ulanylyp bilner, ýöne çemeleşmäniň temperaturasyny ýokarlandyrmak üçin bugarmak çeşmesiniň ulanylmagynyň kemçilikleri bar: membrana gatlagynyň stresini aşa köpeltmek; film emele getirýän gazy dargatmak aňsat. Şonuň üçin bugarmak çeşmesiniň temperaturasyny gowulandyrmakdan bugarmak çeşmesiniň meýdanyny köpeltmek has amatlydyr.
(3) substratyň temperaturasy. Substratyň temperaturasynyň ýokarlanmagy, galan gaz molekulalarynyň substrat ýüzünde adsorbsiýa üçin amatlydyr, substraty we goýlan molekulalaryň arasyndaky baglanyşyk güýjüni ýokarlandyrýar: şol bir wagtyň özünde fiziki adsorbsiýanyň himiki adsorbsiýa öwrülmegine kömek eder, molekulalaryň gatlagynyň gurluşy berk bolar. Mysal üçin, Mg, membrana, substraty 250 ~ 300 to çenli gyzdyrmak içerki stresleri peseldip, jemleniş dykyzlygyny ýokarlandyryp, membrana gatlagynyň gatylygyny ýokarlandyryp biler: substrat ýyladyşy 120 ~ 150 ℃ taýýarlanan Zr03-Si02, köp gatlakly membrana, mehaniki güýji ep-esli ýokarlandy, ýöne substratyň temperaturasy aşa ýokary bolup, membrananyň gatlagynyň ýaramazlaşmagyna sebäp bolar.
(4) Ion bombasy. Ion bombalanmagy ýokary birleşýän ýüzleriň emele gelmegine, ýeriň çişligine, okislenmegine we agregasiýa dykyzlygyna täsir edýär. Örtügiň öňündäki bomba, ýüzüni arassalap we ýelimini artdyryp biler; örtükden soň bombalanmak, film gatlagynyň jemleniş dykyzlygyny we ş.m. gowulaşdyryp biler, şeýlelik bilen mehaniki güýji we gatylygy ýokarlandyrar.
(5) Substrat arassalamak. Substraty arassalamak usuly ýerlikli ýa-da arassa däl, substrat galyndy galyndylarynda ýa-da arassalaýjy serişdede, dürli birleşme şertleriniň örtüginde we ýelmeşmeginde täze hapalanmalara sebäp bolup, gurluş aýratynlyklarynyň we optiki galyňlygynyň birinji gatlagyna täsir edýär, şeýle hem film gatlagynyň substratdan çykmagyny aňsatlaşdyrýar, şeýlelik bilen film gatlagynyň aýratynlyklaryny üýtgedýär.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Maý-04-2024