1. Ion şöhlesi arkaly ýerleşdirmek tehnologiýasy membrana bilen substratyň arasyndaky güýçli ýelmeşme bilen häsiýetlendirilýär, membran gatlagy örän berk. Tejribeler görkezýär: ion şöhlesi arkaly ýerleşdirmekde ýelmeşme termal bug çökündisiniň ýelmeşmesine garanyňda birnäçe esseden ýüzlerçe esse çenli ýokarlanýar, sebäbi esasan, ion bombardmanynyň ýüzündäki arassalaýyş täsiri bilen baglanyşyklydyr, şonuň üçin membrana esasynyň serhedi gradient serhet gurluşyny ýa-da gibrid geçiş gatlagyny emele getirýär, şeýle hem membrana stresini azaltmak üçin.
2. Ion şöhlesi bilen çökdürmek plýonkanyň mehaniki häsiýetlerini gowulandyryp, ýadawlyk ömrüni uzaldyp biler, oksidleri, karbidleri, kub BN, TiB2 we almaz ýaly örtükleri taýýarlamak üçin örän amatlydyr. Mysal üçin, 1Cr18Ni9Ti gyzgynlyga çydamly polatda ion şöhlesi bilen çökdürmek tehnologiýasyny ulanmak arkaly 200nm Si3N4 plýonkasyny ösdürip ýetişdirmek, materialyň ýüzünde ýadawlyk çatlaklarynyň döremeginiň öňüni almak bilen çäklenmän, eýsem ýadawlyk çatlaklarynyň ýaýramagynyň tizligini hem ep-esli azaldyp, ömrüni uzaltmakda gowy rol oýnaýar.
3. Ion şöhlesi bilen çökdürilme plyonkanyň stres tebigatyny we onuň kristal gurluşyny üýtgedip biler. Mysal üçin, substrat ýüzüni 11.5 keV Xe + ýa-da Ar + bombardman etmek bilen Cr plyonkasyny taýýarlamak, substratyň temperaturasyny, bombardman ion energiýasyny, ionlary we atomlary sazlamak bilen parametrleriň gatnaşygyna ýetmegiň dartgynlylykdan basyş dartgynlygyna çenli dartgynlylygy döredip biljekdigini, plyonkanyň kristal gurluşynyň hem üýtgeşmelerini döredýändigini anyklady. Ion-atom gelme gatnaşygynyň belli bir ýagdaýynda, ion şöhlesi bilen çökdürilme termal bug çökdürilmesi bilen çökdürilen membrana gatlagyndan has gowy saýlama ugryna eýedir.
4. Ion şöhlesi arkaly çökündi membrananyň korroziýa we oksidlenme garşylygyny ýokarlandyryp biler. Plýonka gatlagynyň ion şöhlesi arkaly çökündisiniň dykyzlygy sebäpli, plýonka esasynyň serhet gurluşynyň gowulanmagy ýa-da bölejikleriň arasyndaky däne serhetleriniň ýitip gitmegi netijesinde amorf ýagdaýyň emele gelmegi materialyň korroziýa garşylygynyň ýokarlanmagyna we ýokary temperaturanyň oksidlenmesine garşy durmagyna ýardam edýär.
5. Ion şöhlesi kömegi bilen çökdürmek plýonkanyň elektromagnit häsiýetlerini üýtgedip we optiki inçe plýonkalaryň işini gowulandyryp biler.
6. Ion kömegi bilen çökdürmek atom çökdürmesi we ion implantasiýasyna degişli parametrleri takyk we garaşsyz sazlamaga mümkinçilik berýär we pes bombardman energiýalarynda yzygiderli düzümli birnäçe mikrometr örtükleriň yzygiderli döredilmegine mümkinçilik berýär, şonuň üçin dürli inçe plýonkalary otagyň temperaturasynda ösdürip bolýar, ýokary temperaturada işlenilmegi sebäpli materiallara ýa-da takyk böleklere zyýanly täsirleriň öňüni alyp bolýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 24-nji ýanwary