1. Ion nurlari yordamida cho'ktirish texnologiyasi membrana va substrat o'rtasida kuchli yopishish bilan tavsiflanadi, membrana qatlami juda kuchli. Tajribalar shuni ko'rsatadiki: ion nurlari yordamida cho'ktirishda yopishish termal bug' cho'kishiga qaraganda bir necha baravardan yuzlab baravargacha oshadi, buning sababi asosan sirtdagi ion bombardimonining tozalash effekti bilan bog'liq, natijada membrana asosi interfeysi gradient interfeys tuzilishini yoki gibrid o'tish qatlamini hosil qiladi, shuningdek, membrana stressini kamaytiradi.
2. Ion nurlari yordamida cho'ktirish plyonkaning mexanik xususiyatlarini yaxshilashi, charchoq muddatini uzaytirishi mumkin, oksidlar, karbidlar, kubik BN, TiB2 va olmosga o'xshash qoplamalarni tayyorlash uchun juda mos keladi. Masalan, 1Cr18Ni9Ti issiqlikka chidamli po'latda ion nurlari yordamida cho'ktirish texnologiyasidan foydalangan holda 200 nm Si3N4 plyonkasini o'stirish nafaqat material yuzasida charchoq yoriqlari paydo bo'lishini oldini oladi, balki charchoq yoriqlari tarqalish tezligini sezilarli darajada kamaytiradi va uning umrini uzaytiradi.
3. Ion nurlari yordamida cho'ktirish plyonkaning kuchlanish xususiyatini va uning kristalli tuzilishini o'zgartirishi mumkin. Masalan, substrat yuzasini 11,5 keV Xe+ yoki Ar+ bombardimon qilish orqali Cr plyonkasini tayyorlash natijasida substrat harorati, bombardimon qilish ion energiyasi, ionlar va atomlarning parametrlar nisbatiga erishish uchun sozlanishi kuchlanishdan siqilish kuchlanishiga olib kelishi mumkinligi aniqlandi, plyonkaning kristalli tuzilishi ham o'zgarishlarga olib keladi. Muayyan ion-atom kelish nisbati ostida ion nurlari yordamida cho'ktirish termal bug' cho'ktirish orqali cho'ktirilgan membrana qatlamiga qaraganda yaxshiroq selektiv yo'nalishga ega.
4. Ion nurlari yordamida cho'ktirish membrananing korroziyaga chidamliligi va oksidlanishga chidamliligini oshirishi mumkin. Plyonka qatlamining ion nurlari yordamida cho'kishi zichligi tufayli plyonka asosining interfeys tuzilishi yaxshilanadi yoki zarrachalar orasidagi don chegaralarining yo'qolishi natijasida amorf holat hosil bo'ladi, bu esa materialning korroziyaga chidamliligini oshirishga va yuqori haroratning oksidlanishiga qarshi turishga yordam beradi.
5. Ion nurlari yordamida cho'ktirish plyonkaning elektromagnit xususiyatlarini o'zgartirishi va optik yupqa plyonkalarning ish faoliyatini yaxshilashi mumkin.
6. Ion yordamida cho'ktirish atom cho'ktirish va ion implantatsiyasi bilan bog'liq parametrlarni aniq va mustaqil ravishda sozlash imkonini beradi va past bombardimon energiyalarida bir xil tarkibga ega bo'lgan bir necha mikrometr qoplamalarni ketma-ket yaratish imkonini beradi, shu bilan xona haroratida turli xil yupqa plyonkalarni o'stirish mumkin, bu esa ularni yuqori haroratda ishlov berish natijasida yuzaga kelishi mumkin bo'lgan materiallar yoki aniq qismlarga salbiy ta'sir ko'rsatishdan saqlaydi.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Joylashtirilgan vaqt: 2024-yil 24-yanvar