1. Технологияи ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ионӣ бо часпакии қавӣ байни мембрана ва субстрат тавсиф мешавад ва қабати мембрана хеле қавӣ аст. Таҷрибаҳо нишон медиҳанд, ки: часпакии ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ионӣ нисбат ба часпакии ҷойгиркунии буғи гармӣ аз якчанд маротиба то садҳо маротиба афзоиш ёфтааст, сабаб асосан аз таъсири тозакунии бомбаборони ионӣ дар сатҳи он вобаста аст, ки дар натиҷа интерфейси асосии мембрана сохтори интерфейси градиентӣ ё қабати гузариши гибридиро ташкил медиҳад, инчунин фишори мембранаро коҳиш медиҳад.
2. Чопкунии бо ёрии шуоъи ионӣ метавонад хосиятҳои механикии плёнкаро беҳтар созад, мӯҳлати хастагиро дароз кунад, ки барои тайёр кардани оксидҳо, карбидҳо, BN мукаабӣ, TiB2 ва рӯйпӯшҳои монанд ба алмос хеле мувофиқ аст. Масалан, дар пӯлоди 1Cr18Ni9Ti бо истифода аз технологияи чопкунии бо ёрии шуоъи ионӣ барои парвариши плёнкаи Si3N4 200nm, на танҳо метавонад пайдоиши тарқишҳои хастагиро дар сатҳи мавод боздорад, балки суръати паҳншавии тарқишҳои хастагиро ба таври назаррас коҳиш диҳад ва мӯҳлати хизмати онро дароз кунад.
3. Ҷойгиркунии бо ёрии шуоъҳои ионӣ метавонад хусусияти шиддати плёнкаро тағйир диҳад ва сохтори кристаллии онро тағйир диҳад. Масалан, ҳангоми тайёр кардани плёнкаи Cr бо бомбаборди 11.5 кэВ Xe+ ё Ar+ сатҳи субстрат муайян карда шуд, ки танзими ҳарорати субстрат, энергияи ионҳои бомбаборди ионӣ, ионҳо ва атомҳо барои расидан ба таносуби параметрҳо метавонад фишорро аз шиддати кашиш ба фишори фишурда ба вуҷуд орад, сохтори кристаллии плёнка низ тағйирот ба вуҷуд меорад. Дар зери таносуби муайяни расидани ион ба атом, ҷойгиркунии бо ёрии шуоъҳои ионӣ нисбат ба қабати мембрана, ки бо гузоштани буғи гармӣ ҷойгир шудааст, самти интихобии беҳтар дорад.
4. Ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ионӣ метавонад муқовимати зангзанӣ ва муқовимати оксидшавии мембранаро афзоиш диҳад. Аз сабаби зичии қабати плёнка, ки бо ёрии шуоъи ионӣ ҷойгир шудааст, сохтори интерфейси пойгоҳи плёнка беҳтар мешавад ё ҳолати аморфӣ дар натиҷаи нопадид шудани сарҳадҳои дона байни зарраҳо ба вуҷуд меояд, ки ба афзоиши муқовимати зангзании мавод ва муқовимат ба оксидшавии ҳарорати баланд мусоидат мекунад.
5. Ҷойгиркунии бо ёрии шуоъҳои ионӣ метавонад хосиятҳои электромагнитии плёнкаро тағйир диҳад ва кори плёнкаҳои тунуки оптикиро беҳтар созад.
6. Ҷойгиркунии бо ёрии ион имкон медиҳад, ки параметрҳои марбут ба ҷойгиркунии атомӣ ва имплантатсияи ионҳо танзими дақиқ ва мустақилона анҷом дода шаванд ва имкон медиҳад, ки пӯшишҳои пайдарпайи чанд микрометр бо таркиби якхела дар энергияҳои пасти бомбабордкунӣ тавлид карда шаванд, то ки плёнкаҳои гуногуни тунук дар ҳарорати хонагӣ парвариш карда шаванд ва аз таъсири манфии маводҳо ё қисмҳои дақиқ, ки метавонанд дар натиҷаи коркарди онҳо дар ҳарорати баланд ба вуҷуд оянд, пешгирӣ карда шаванд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 24 январи соли 2024