1. ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە تېخنىكىسى پەردە بىلەن ئاساسىي قاتلام ئوتتۇرىسىدىكى كۈچلۈك يېپىشما بىلەن خاراكتېرلىنىدۇ، پەردە قەۋىتى ناھايىتى كۈچلۈك. تەجرىبىلەر شۇنى كۆرسىتىپ بېرىدۇكى: ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە يېپىشما ئىسسىقلىق پار چۆكمىسىنىڭ يېپىشما بىلەن سېلىشتۇرغاندا بىر قانچە ھەسسەدىن يۈز ھەسسەگىچە ئاشىدۇ، بۇنىڭ سەۋەبى ئاساسلىقى يۈزدىكى ئىئون بومباردىمانىنىڭ تازىلاش ئۈنۈمىدىن كېلىپ چىقىدۇ، شۇڭا پەردە ئاساسى يۈزى گرادىيېنتلىق يۈز يۈزى قۇرۇلمىسى ياكى ئارىلاشما ئۆتكۈنچى قەۋەت ھاسىل قىلىدۇ، شۇنداقلا پەردە بېسىمىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
2. ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە پىلاستىنكىنىڭ مېخانىكىلىق خۇسۇسىيىتىنى ياخشىلاپ، چارچاش ئۆمرىنى ئۇزارتالايدۇ، ئوكسىد، كاربىد، كۇب BN، TiB2 ۋە ئالماسقا ئوخشاش قاپلاملارنى تەييارلاشقا ناھايىتى ماس كېلىدۇ. مەسىلەن، 1Cr18Ni9Ti ئىسسىققا چىداملىق پولاتتا ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە تېخنىكىسىنى ئىشلىتىپ، 200nm Si3N4 پىلاستىنكىسىنى ئۆستۈرگىلى بولىدۇ، بۇ پەقەت ماتېرىيال يۈزىدە چارچاش يېرىقلىرىنىڭ پەيدا بولۇشىنى توسۇپلا قالماي، يەنە چارچاش يېرىقلىرىنىڭ تارقىلىش سۈرئىتىنى زور دەرىجىدە تۆۋەنلىتىپ، ئۆمرىنى ئۇزارتىشتا ياخشى رول ئوينايدۇ.
3. ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە پىلاستىنكىنىڭ بېسىم خاراكتېرىنى ۋە ئۇنىڭ كىرىستال قۇرۇلمىسىنى ئۆزگەرتەلەيدۇ. مەسىلەن، ئاساسىي قاتلام يۈزىگە 11.5keV Xe+ ياكى Ar+ بومباردىمان قىلىش ئارقىلىق Cr پىلاستىنكىسىنى تەييارلاش جەريانىدا، ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى، بومباردىمان قىلىش ئىئون ئېنېرگىيەسى، ئىئون ۋە ئاتوملارنىڭ پارامېتىر نىسبىتىگە يېتىشىنى تەڭشەش ئارقىلىق تارتىلىش بېسىمىدىن سىقىلىش بېسىمىغا ئۆزگىرىشى مۇمكىنلىكى، پىلاستىنكىنىڭ كىرىستال قۇرۇلمىسىدىمۇ ئۆزگىرىشلەر پەيدا بولىدىغانلىقى بايقالدى. مەلۇم ئىئون-ئاتوم كېلىش نىسبىتى ئاستىدا، ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە ئىسسىقلىق پار چۆكمىسى ئارقىلىق چۆكمە قىلىنغان پەردە قەۋىتىگە قارىغاندا ياخشى تاللاش يۆنىلىشىگە ئىگە.
4. ئىئون نۇرى ياردىمىدە چۆكمە قىلىش پەردىنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقى ۋە ئوكسىدلىنىشقا چىدامچانلىقىنى ئاشۇرالايدۇ. ئىئون نۇرى ياردىمىدە چۆكمە قىلىش پەردە قەۋىتىنىڭ زىچلىقى سەۋەبىدىن، پەردە ئاساسى يۈزى قۇرۇلمىسىنىڭ ياخشىلىنىشى ياكى زەررىچىلەر ئارىسىدىكى دانچە چېگرىسىنىڭ يوقىلىشى سەۋەبىدىن ئامورف ھالەت شەكىللىنىشى مۇمكىن، بۇ ماتېرىيالنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقىنى ئاشۇرۇشقا ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ ئوكسىدلىنىشىغا چىدامچانلىق كۆرسىتىشكە پايدىلىق.
5. ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە پىلاستىنكىنىڭ ئېلېكترو ماگنىتلىق خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىپ، ئوپتىكىلىق نېپىز پىلاستىنكىلارنىڭ ئىقتىدارىنى ياخشىلىيالايدۇ.
6. ئىئون ياردەملىك چۆكمە ئاتوم چۆكمىسى ۋە ئىئون ئىمپلانتاتسىيەسىگە مۇناسىۋەتلىك پارامېتىرلارنى ئېنىق ۋە مۇستەقىل تەڭشەشكە يول قويىدۇ، ھەمدە تۆۋەن بومباردىمان ئېنېرگىيەسىدە مۇقىم تەركىبكە ئىگە بىر قانچە مىكرومېتىرلىق قاپلىمىلارنى ئارقا-ئارقىدىن ھاسىل قىلىشقا يول قويىدۇ، شۇڭا ھەر خىل نېپىز پەردىلەرنى ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا ئۆستۈرگىلى بولىدۇ، بۇ ئارقىلىق يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىر تەرەپ قىلىش ئارقىلىق ماتېرىياللارغا ياكى ئېنىق زاپچاسلارغا كەلتۈرۈلۈشى مۇمكىن بولغان سەلبىي تەسىرلەرنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 1-ئاينىڭ 24-كۈنى