1. Ион нуры ярдәмендә урнаштыру технологиясе мембрана һәм субстрат арасындагы көчле адгезия белән характерлана, мембрана катламы бик нык. Экспериментлар күрсәткәнчә: ион нуры ярдәмендә урнаштыруда адгезия термик пар урнаштыруга караганда берничә тапкырдан йөзләгән тапкырга кадәр арта, сәбәбе, нигездә, өслектә ион бомбардированиесенең чистарту эффекты белән бәйле, шуның белән мембрана нигезе интерфейсы градиентлы интерфейс структурасын яки гибрид күчеш катламын барлыкка китерә, шулай ук мембрана киеренкелеген киметә.
2. Ион нуры ярдәмендә урнаштыру пленканың механик үзлекләрен яхшырта, арыганлык гомерен озайта ала, оксидлар, карбидлар, куб BN, TiB2 һәм алмазсыман капламалар әзерләү өчен бик яраклы. Мәсәлән, 1Cr18Ni9Ti җылылыкка чыдам корычта ион нуры ярдәмендә урнаштыру технологиясен кулланып, 200 нм Si3N4 пленка үстерелә, бу материал өслегендә арыганлык ярыклары барлыкка килүне генә түгел, ә арыганлык ярыклары таралу тизлеген дә сизелерлек киметә, аның гомерен озайтуда мөһим роль уйный.
3. Ион нуры ярдәмендә утырту пленканың көчәнеш табигатен һәм аның кристалл структурасын үзгәртә ала. Мәсәлән, субстрат өслеген 11,5 кэВ Xe+ яки Ar+ белән бомбага тоту белән Cr пленкасын әзерләү, субстрат температурасын, бомбага тоту ион энергиясен, ионнар һәм атомнар нисбәтен параметрлар нисбәтенә җиткерү өчен көйләү, тартылу көчәнешеннән кысылу көчәнешенә көчәнешне китереп чыгарырга мөмкин булуын, пленканың кристалл структурасында да үзгәрешләр булуын күрсәтте. Ион-атом килү нисбәте билгеле бер булганда, ион нуры ярдәмендә утырту термик пар белән утырту белән урнаштырылган мембрана катламына караганда яхшырак сайлап алу юнәлешенә ия.
4. Ион нуры ярдәмендә утырту мембрананың коррозиягә һәм оксидлашуга чыдамлыгын арттыра ала. Пленка катламының ион нуры ярдәмендә утырту тыгызлыгы аркасында, пленка нигезе интерфейсы структурасы яхшыра яки кисәкчәләр арасындагы бөртек чикләренең югалуы нәтиҗәсендә аморф халәт барлыкка килә, бу материалның коррозиягә чыдамлыгын арттырырга һәм югары температураның оксидлашуына каршы торырга ярдәм итә.
5. Ион нуры ярдәмендә утырту пленканың электромагнит үзлекләрен үзгәртә һәм оптик юка пленкаларның эшчәнлеген яхшырта ала.
6. Ион ярдәмендә утырту атом утырту һәм ион имплантациясенә бәйле параметрларны төгәл һәм бәйсез көйләргә мөмкинлек бирә, һәм түбән бомбага тоту энергияләрендә бер үк составлы берничә микрометрлы каплауларны бер-бер артлы генерацияләү мөмкинлеген бирә, шуның белән төрле юка пленкалар бүлмә температурасында үстерелергә мөмкин, югары температурада эшкәртү нәтиҗәсендә материалларга яки төгәл детальләргә тискәре йогынты ясалмаска мөмкин.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 24 гыйнвары