1. Ukadaulo wothandiza kuyika ion beam umadziwika ndi kuuma kwamphamvu pakati pa nembanemba ndi substrate, ndipo nembanemba wosanjikiza ndi wamphamvu kwambiri. Mayesero akusonyeza kuti: kuuma kwa ion beam-assisted kuyika ion beam kuposa kuuma kwa nthunzi yotentha kunawonjezeka kangapo mpaka mazana ambiri, chifukwa chake makamaka chifukwa cha kuphulika kwa ion pamwamba pa zotsatira zoyeretsa, kotero kuti mawonekedwe a nembanemba apange kapangidwe ka gradient interfacial, kapena wosanjikiza wosakanizidwa, komanso kuchepetsa kupsinjika kwa nembanemba.
2. Kuyika kwa ion beam kumathandiza kukonza mawonekedwe a makina a filimuyi, kukulitsa moyo wa kutopa, koyenera kwambiri pokonzekera ma oxides, carbides, cubic BN, TiB2, ndi zokutira ngati diamondi. Mwachitsanzo, mu 1Cr18Ni9Ti chitsulo chosagwira kutentha chimagwiritsa ntchito ukadaulo woyika ion-beam-assisted deposition kuti chikule filimu ya 200nm Si3N4, sikuti kungoletsa kuoneka kwa ming'alu ya kutopa pamwamba pa zinthuzo, komanso kuchepetsa kwambiri kuchuluka kwa kutopa kwa ming'alu, kuti ikule nthawi yake ya moyo.
3. Kuyika kwa ion beam assisted deposition kungasinthe mtundu wa kupsinjika kwa filimuyi ndipo kapangidwe kake ka crystalline kamasintha. Mwachitsanzo, kukonzekera kwa filimu ya Cr yokhala ndi 11.5keV Xe + kapena Ar + bombardment ya pamwamba pa substrate, kwapeza kuti kusintha kwa kutentha kwa substrate, mphamvu ya ion bombardment, ma ion ndi ma atomu kuti afike pa chiŵerengero cha magawo, kungapangitse kupsinjika kuchokera ku kupsinjika kwa tensile kupita ku kupsinjika kwa compressive, kapangidwe ka crystalline ka filimuyi kadzapanganso kusintha. Pansi pa chiŵerengero china cha kufika kwa ion-to-atomu, ion beam assisted deposition ili ndi njira yabwino yosankha kuposa gawo la nembanemba lomwe limayikidwa ndi kutentha kwa nthunzi.
4. Kuyika kwa ion beam kumathandiza kuonjezera kukana dzimbiri ndi kukana okosijeni kwa nembanemba. Chifukwa cha kuchuluka kwa ion beam-assisted deposition ya filimu wosanjikiza, kusintha kwa kapangidwe ka filimu kapena kupangika kwa amorphous state komwe kumachitika chifukwa cha kutha kwa malire a tirigu pakati pa tinthu tating'onoting'ono, zomwe zimathandiza kukulitsa kukana kwa dzimbiri kwa zinthuzo ndikuletsa okosijeni kutentha kwambiri.
5. Kuyika kwa ion beam kumathandiza kusintha mphamvu ya maginito ya filimuyi ndikuwonjezera magwiridwe antchito a mafilimu owonda a kuwala.
6. Kuyika kwa ayoni kothandizidwa ndi ayoni kumalola kusintha kolondola komanso kodziyimira pawokha kwa magawo okhudzana ndi kuyika kwa atomu ndi kuyika kwa ayoni, ndipo kumalola kupanga zophimba za ma micrometer angapo motsatizana ndi kapangidwe kogwirizana ndi mphamvu zochepa za bombardment, kuti mafilimu osiyanasiyana owonda athe kukulitsidwa kutentha kwa chipinda, kupewa zotsatira zoyipa pa zipangizo kapena zigawo zolondola zomwe zingayambitsidwe ndi kuzichiza kutentha kwambiri.
– Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua
Nthawi yotumizira: Januwale-24-2024