1. Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìtọ́jú ion beam assisted deposition ni a fi àmì ìsopọ̀ tó lágbára láàrín membrane àti substrate náà, Layer membrane náà lágbára gan-an. Àwọn àyẹ̀wò fihàn pé: ìtọ́jú ion beam assisted deposition ti adhesion ju ìsopọ̀ hot vapor deposition ti pọ si ni ọpọlọpọ igba si ọgọọgọrun igba, idi naa jẹ pataki nitori bombardment ion lori dada ti ipa mimọ, ki asopọ ipilẹ membrane lati ṣẹda eto interfacial gradient, tabi ipele iyipada hybrid, ati lati dinku wahala membrane.
2. Iduro iranlọwọ ti ion beam le mu awọn agbara ẹrọ ti fiimu naa dara si, mu igbesi aye rirẹ pọ si, o dara pupọ fun igbaradi ti awọn oxides, carbides, cubic BN, TiB2, ati awọn awọ ti o dabi diamond. Fun apẹẹrẹ, ninu irin 1Cr18Ni9Ti ti o ni agbara ooru lori lilo imọ-ẹrọ iṣipopada iranlọwọ ti ion-beam lati dagba fiimu Si3N4 200nm, kii ṣe pe o le ṣe idiwọ ifarahan awọn didi rirẹ lori oju ohun elo naa nikan, ṣugbọn tun dinku oṣuwọn itankale rirẹ ni pataki, lati fa igbesi aye rẹ pọ si ni ipa ti o dara.
3. Ìfipamọ́ ion onírànlọ́wọ́ lórí ion le yí ìrísí ìdààmú fíìmù náà padà àti ìrísí crystalline rẹ̀ ń yípadà. Fún àpẹẹrẹ, ìpèsè fíìmù Cr pẹ̀lú 11.5keV Xe + tàbí Ar + bọ́m̀bù ojú ilẹ̀, fihàn pé ìṣàtúnṣe ìwọ̀n otútù substrate, agbára ion bọ́m̀bù, àwọn ions àti àwọn átọ́mù láti dé ìpíndọ́gba àwọn paramita, le mú kí ìdààmú láti ìdààmú tensile sí ìdààmú compressive, ìrísí crystalline ti fíìmù náà yóò tún mú àwọn ìyípadà wá. Lábẹ́ ìpíndọ́gba ìbísí ion-sí-atọ̀mù kan, ìfipamọ́ ion onírànlọ́wọ́ ní ìtọ́sọ́nà yíyàn tí ó dára ju ìpele membrane tí ìfipamọ́ hot vaporative gbé kalẹ̀ lọ.
4. Ìfipamọ́ oníná ion lè mú kí ìdènà ìjẹrà àti ìdènà ìfọ́mọ́ra ti awo náà pọ̀ sí i. Nítorí ìwọ̀n ìfipamọ́ oníná ion tí a fi fíìmù ṣe, ìdàgbàsókè ìrísí ìpìlẹ̀ fíìmù tàbí ìṣẹ̀dá ipò àìmọ́ra tí ó wáyé nítorí píparẹ́ àwọn ààlà ọkà láàárín àwọn èròjà náà, èyí tí ó ń mú kí ìdènà ìjẹrà ti ohun èlò náà pọ̀ sí i, tí ó sì ń dènà ìfọ́mọ́ra ti iwọ̀n otútù gíga.
5. Ìfipamọ́ oníná ion lè yí àwọn ànímọ́ oníná mànàmáná ti fíìmù náà padà kí ó sì mú iṣẹ́ àwọn fíìmù oníná mànàmáná sunwọ̀n síi.
6. Ifisilẹ ti a ṣe iranlọwọ fun Ion gba laaye lati ṣe atunṣe deede ati ominira ti awọn paramita ti o ni ibatan si ifisilẹ atomu ati fifi ion sii, ati pe o gba laaye fun iran ti awọn awọ ti awọn micrometer diẹ pẹlu akojọpọ deede ni agbara bombu kekere, ki ọpọlọpọ awọn fiimu tinrin le dagba ni iwọn otutu yara, yago fun awọn ipa odi lori awọn ohun elo tabi awọn ẹya deede ti o le fa nipasẹ itọju wọn ni iwọn otutu giga.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Jan-24-2024