আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন প্রযুক্তির বৈশিষ্ট্য হলো মেমব্রেন এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে শক্তিশালী আসঞ্জন, যার ফলে মেমব্রেন স্তরটি খুব মজবুত হয়। পরীক্ষা থেকে দেখা যায় যে, থার্মাল ভেপার ডিপোজিশনের তুলনায় আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশনের আসঞ্জন কয়েকগুণ থেকে শতগুণ পর্যন্ত বৃদ্ধি পায়। এর প্রধান কারণ হলো পৃষ্ঠতলের উপর আয়নের আঘাতজনিত পরিষ্কারক প্রভাব, যা মেমব্রেন ও সাবস্ট্রেটের সংযোগস্থলে একটি গ্রেডিয়েন্ট ইন্টারফেসিয়াল কাঠামো বা হাইব্রিড ট্রানজিশন স্তর তৈরি করে এবং মেমব্রেনের উপর চাপও কমায়।
২. আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন ফিল্মের যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য উন্নত করতে এবং এর ফেইটিগ লাইফ বাড়াতে পারে, যা অক্সাইড, কার্বাইড, কিউবিক BN, TiB2 এবং ডায়মন্ড-লাইক কোটিং তৈরির জন্য অত্যন্ত উপযুক্ত। উদাহরণস্বরূপ, 1Cr18Ni9Ti তাপ-প্রতিরোধী স্টিলের উপর আয়ন-বিম-অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন প্রযুক্তি ব্যবহার করে 200nm Si3N4 ফিল্ম তৈরি করলে, তা কেবল উপাদানের পৃষ্ঠে ফেইটিগ ক্র্যাকের উদ্ভবকেই বাধা দেয় না, বরং ফেইটিগ ক্র্যাক ডিফিউশনের হারও উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে, যা এর আয়ু বাড়াতে একটি ভালো ভূমিকা পালন করে।
৩. আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন ফিল্মের স্ট্রেসের প্রকৃতি পরিবর্তন করতে পারে এবং এর ক্রিস্টালাইন কাঠামোও পরিবর্তিত হয়। উদাহরণস্বরূপ, সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে ১১.৫ keV Xe+ বা Ar+ বোমাবর্ষণের মাধ্যমে Cr ফিল্ম তৈরির ক্ষেত্রে দেখা গেছে যে, সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা, বোমাবর্ষণকারী আয়নের শক্তি এবং আয়ন ও পরমাণুর অনুপাতকে একটি নির্দিষ্ট প্যারামিটারে সমন্বয় করার মাধ্যমে স্ট্রেসকে টেনসাইল স্ট্রেস থেকে কম্প্রেসিভ স্ট্রেসে রূপান্তরিত করা যায় এবং এর ফলে ফিল্মের ক্রিস্টালাইন কাঠামোতেও পরিবর্তন আসে। একটি নির্দিষ্ট আয়ন-থেকে-পরমাণু আগমন অনুপাতের অধীনে, আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশনের নির্বাচনী অভিমুখীকরণ থার্মাল ভেপার ডিপোজিশন দ্বারা জমা করা মেমব্রেন লেয়ারের চেয়ে ভালো হয়।
৪. আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন মেমব্রেনের ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং জারণ প্রতিরোধ ক্ষমতা বাড়াতে পারে। আয়ন বিম-অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশনের মাধ্যমে ফিল্ম লেয়ারের ঘনত্ব বৃদ্ধি পায়, ফিল্ম বেস ইন্টারফেস কাঠামোর উন্নতি ঘটে অথবা কণাগুলোর মধ্যকার গ্রেইন বাউন্ডারি বিলুপ্ত হওয়ার ফলে অ্যামরফাস অবস্থার সৃষ্টি হয়, যা উপাদানটির ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা বাড়াতে এবং উচ্চ তাপমাত্রার জারণ প্রতিরোধ করতে সহায়ক।
৫. আয়ন রশ্মি সহায়ক অবক্ষেপণ ফিল্মের তড়িৎচুম্বকীয় বৈশিষ্ট্য পরিবর্তন করতে পারে এবং অপটিক্যাল পাতলা ফিল্মের কর্মক্ষমতা উন্নত করতে পারে।
৬. আয়ন-সহায়ক অবক্ষেপণ পদ্ধতি পারমাণবিক অবক্ষেপণ এবং আয়ন প্রতিস্থাপন সম্পর্কিত প্যারামিটারগুলোর সুনির্দিষ্ট ও স্বাধীন সমন্বয়ের সুযোগ দেয় এবং কম বোমাবর্ষণ শক্তিতে সামঞ্জস্যপূর্ণ গঠনসহ কয়েক মাইক্রোমিটার পুরু প্রলেপ ধারাবাহিকভাবে তৈরি করতে সক্ষম করে, যার ফলে উচ্চ তাপমাত্রায় উপকরণ বা সূক্ষ্ম যন্ত্রাংশ প্রক্রিয়াজাতকরণের কারণে সৃষ্ট সম্ভাব্য প্রতিকূল প্রভাব এড়িয়ে কক্ষ তাপমাত্রায় বিভিন্ন পাতলা ফিল্ম তৈরি করা যায়।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: ২৪-জানুয়ারি-২০২৪