1. Theknoloji ea ho boloka mahlasedi a thusoang ke mahlasedi a ione e khetholloa ka ho khomarela ho matla pakeng tsa lera le substrate, lera la lera le matla haholo. Liteko li bontša hore: ho khomarela ha mahlasedi a thusoang ke mahlasedi a ione ho feta ho khomarela ha mouoane o chesang ho eketsehile ka makhetlo a 'maloa ho isa makhetlo a makholo, lebaka le bakoa haholo-holo ke ho phatloha ha mahlasedi a ione holim'a phello ea ho hloekisa, e le hore sebopeho sa motheo sa lera se thehe sebopeho sa gradient interfacial, kapa lera la phetoho ea lebasetere, hammoho le ho fokotsa khatello ea lera.
2. Ho kenngoa ha ion beam ho ka ntlafatsa thepa ea mechini ea filimi, ho eketsa bophelo ba mokhathala, ho loketse haholo bakeng sa ho lokisa li-oxide, carbides, cubic BN, TiB2, le liaparo tse kang daemane. Mohlala, tšepeng e sa keneng mocheso ea 1Cr18Ni9Ti e sebelisang theknoloji ea ho kenngoa ha ion-beam ho holisa filimi ea 200nm Si3N4, eseng feela ho thibela ho hlaha ha mapetso a mokhathala holim'a thepa, empa hape ho fokotsa haholo sekhahla sa ho hasana ha mokhathala, ho eketsa bophelo ba eona ho na le karolo e ntle.
3. Ho kenngoa ha ion beam ho ka fetola mofuta oa khatello ea filimi le liphetoho tsa sebopeho sa eona sa kristale. Mohlala, ho lokisoa ha filimi ea Cr e nang le 11.5keV Xe + kapa Ar + ho kenngoa ha bokaholimo ba substrate, ho fumanoe hore ho lokisoa ha mocheso oa substrate, matla a ion a bombardment, li-ion le liathomo ho fihlela karolelano ea liparamente, ho ka etsa hore khatello e be ho tloha khatellong ea ho tensile ho ea khatellong ea khatello, sebopeho sa kristale sa filimi le sona se tla hlahisa liphetoho. Tlas'a karolelano e itseng ea ho fihla ha ion-to-atom, ho kenngoa ha ion beam assisted ho na le tataiso e ntle ea khetho ho feta lera la membrane le behiloeng ke ho kenngoa ha mouoane oa mocheso.
4. Ho kenngoa ha mahlasedi a ione ho ka eketsa khanyetso ea ho bola le khanyetso ea oxidation ea lera la filimi. Ka lebaka la bongata ba ho kenngoa ha mahlasedi a ione a thusoang ke lera la filimi, ntlafatso ea sebopeho sa sebopeho sa filimi kapa ho thehoa ha boemo bo sa fetoheng bo bakoang ke ho nyamela ha meeli ea lithollo lipakeng tsa likaroloana, e leng se thusang ho ntlafatsa khanyetso ea ho bola ea thepa le ho hanela oxidation ea mocheso o phahameng.
5. Ho thuswa ke mahlasedi a ione ho ka fetola thepa ya motlakase ya filimi mme ha ntlafatsa tshebetso ya difilimi tse tshesane tsa optical.
6. Ho kenngoa ha ion ka thuso ea ion ho lumella phetoho e nepahetseng le e ikemetseng ea liparamente tse amanang le ho kenngoa ha athomo le ho kenngoa ha ion, 'me ho lumella tlhahiso e latellanang ea li-micrometer tse' maloa tse nang le motsoako o tsitsitseng ka matla a tlase a ho phatloha, e le hore lifilimi tse fapaneng tse tšesaane li ka lengoa mochesong oa kamore, ho qoba litlamorao tse mpe thepa kapa likarolo tse nepahetseng tse ka bakoang ke ho li phekola mochesong o phahameng.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Pherekhong-24-2024

