1. ເຕັກໂນໂລຊີການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນມີລັກສະນະໂດຍການຍຶດຕິດທີ່ແຂງແຮງລະຫວ່າງເຍື່ອຫຸ້ມເຊລ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນ, ຊັ້ນເຍື່ອຫຸ້ມເຊລແຂງແຮງຫຼາຍ. ການທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າ: ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຂອງການຍຶດຕິດຫຼາຍກ່ວາການວາງຊັ້ນດ້ວຍໄອອອນຄວາມຮ້ອນເພີ່ມຂຶ້ນຫຼາຍເທົ່າເປັນຫຼາຍຮ້ອຍເທົ່າ, ສາເຫດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຍ້ອນການລະເບີດຂອງໄອອອນໃສ່ໜ້າຜິວຂອງຜົນກະທົບການທຳຄວາມສະອາດ, ດັ່ງນັ້ນພື້ນຜິວຂອງເຍື່ອຫຸ້ມເຊລຈຶ່ງສ້າງໂຄງສ້າງການຕໍ່ກັນແບບ gradient, ຫຼືຊັ້ນການຫັນປ່ຽນແບບປະສົມ, ພ້ອມທັງຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຂອງເຍື່ອຫຸ້ມເຊລ.
2. ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍໃນການປັບປຸງຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກຂອງຟິມ, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຄວາມເມື່ອຍລ້າ, ເໝາະສົມຫຼາຍສຳລັບການກະກຽມອົກໄຊ, ຄາໄບ, BN ກ້ອນ, TiB2, ແລະ ການເຄືອບຄ້າຍຄືເພັດ. ຕົວຢ່າງ, ໃນເຫຼັກທົນຄວາມຮ້ອນ 1Cr18Ni9Ti ໂດຍການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍໃນການປູກຟິມ Si3N4 200nm, ບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດຍັບຍັ້ງການເກີດຂຶ້ນຂອງຮອຍແຕກຄວາມເມື່ອຍລ້າເທິງໜ້າຜິວຂອງວັດສະດຸເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການແຜ່ກະຈາຍຂອງຮອຍແຕກຄວາມເມື່ອຍລ້າໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ການຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານມີບົດບາດດີ.
3. ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍໃນການປ່ຽນແປງລັກສະນະຄວາມກົດດັນຂອງຟິມ ແລະ ໂຄງສ້າງຜລຶກຂອງມັນປ່ຽນແປງ. ຕົວຢ່າງ, ການກະກຽມຟິມ Cr ດ້ວຍການຖິ້ມລະເບີດ Xe+ ຫຼື Ar+ 11.5keV ໃສ່ໜ້າຜິວຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ພົບວ່າການປັບອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ພະລັງງານໄອອອນ, ໄອອອນ ແລະ ອະຕອມໃຫ້ບັນລຸອັດຕາສ່ວນຂອງພາລາມິເຕີ, ສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມກົດດັນຈາກຄວາມກົດດັນແຮງດຶງໄປສູ່ຄວາມກົດດັນອັດ, ໂຄງສ້າງຜລຶກຂອງຟິມຍັງຈະສ້າງການປ່ຽນແປງ. ພາຍໃຕ້ອັດຕາສ່ວນການມາຮອດຂອງໄອອອນຕໍ່ອະຕອມທີ່ແນ່ນອນ, ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນມີທິດທາງທີ່ເລືອກໄດ້ດີກ່ວາຊັ້ນເຍື່ອທີ່ວາງໂດຍການຖິ້ມລະເບີດໄອຄວາມຮ້ອນ.
4. ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງຂອງເຍື່ອຫຸ້ມເຊລ. ເນື່ອງຈາກຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຊັ້ນຟິມ, ການປັບປຸງໂຄງສ້າງການເຊື່ອມຕໍ່ຂອງຖານຟິມ ຫຼື ການສ້າງສະຖານະທີ່ບໍ່ມີຮູບຮ່າງເກີດຂຶ້ນຈາກການຫາຍໄປຂອງເຂດແດນຂອງເມັດພືດລະຫວ່າງອະນຸພາກ, ເຊິ່ງເອື້ອອຳນວຍໃຫ້ແກ່ການເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນຂອງວັດສະດຸ ແລະ ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ.
5. ການວາງຊັ້ນດ້ວຍລຳແສງໄອອອນສາມາດປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດທາງແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າຂອງຟິມ ແລະ ປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງຟິມບາງທາງແສງ.
6. ການວາງຊັ້ນດ້ວຍໄອອອນຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດປັບຕົວກໍານົດການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການວາງຊັ້ນປະລໍາມະນູ ແລະ ການຝັງໄອອອນໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ ແລະ ເປັນອິດສະຫຼະ, ແລະ ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຜະລິດຊັ້ນເຄືອບຂະໜາດສອງສາມໄມໂຄຣແມັດຕໍ່ເນື່ອງດ້ວຍສ່ວນປະກອບທີ່ສອດຄ່ອງກັນດ້ວຍພະລັງງານການລະເບີດຕໍ່າ, ດັ່ງນັ້ນຟິມບາງໆຕ່າງໆສາມາດປູກໄດ້ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ, ຫຼີກລ່ຽງຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່ວັດສະດຸ ຫຼື ຊິ້ນສ່ວນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ອາດຈະເກີດຈາກການປະຕິບັດຕໍ່ພວກມັນໃນອຸນຫະພູມສູງ.
- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາໂພສ: ມັງກອນ-24-2024