1. Иондық сәуле көмегімен тұндыру технологиясы мембрана мен негіз арасындағы күшті адгезиямен сипатталады, мембраналық қабат өте берік. Тәжірибелер көрсеткендей: иондық сәуле көмегімен тұндыру кезінде адгезия термиялық бумен тұндыру кезіндегі адгезиядан бірнеше еседен жүздеген есеге дейін артады, себебі негізінен бетіндегі иондық бомбалаудың тазарту әсеріне байланысты, осылайша мембраналық негіз интерфейсі градиенттік интерфейстік құрылымды немесе гибридті өтпелі қабатты қалыптастырады, сондай-ақ мембраналық кернеуді азайтады.
2. Иондық сәулемен тұндыру пленканың механикалық қасиеттерін жақсарта алады, шаршау мерзімін ұзарта алады, оксидтерді, карбидтерді, кубтық BN, TiB2 және гауһар тәрізді жабындарды дайындауға өте қолайлы. Мысалы, 1Cr18Ni9Ti ыстыққа төзімді болатта иондық сәулемен тұндыру технологиясын қолдану арқылы 200 нм Si3N4 пленкасын өсіру материалдың бетінде шаршау жарықтарының пайда болуын тежеп қана қоймай, сонымен қатар шаршау жарықтарының диффузия жылдамдығын айтарлықтай төмендетіп, оның қызмет ету мерзімін ұзартуда жақсы рөл атқарады.
3. Иондық сәуле көмегімен тұндыру пленканың кернеу сипатын және оның кристалдық құрылымын өзгерте алады. Мысалы, субстрат бетін 11,5 кэВ Xe+ немесе Ar+ бомбалау арқылы Cr пленкасын дайындау кезінде субстрат температурасын, бомбалау иондарының энергиясын, иондар мен атомдарды параметрлер қатынасына жету үшін реттеу кернеудің созылу кернеуінен сығылу кернеуіне дейін өзгеруіне әкелуі мүмкін екендігі анықталды, пленканың кристалдық құрылымы да өзгерістерге әкеледі. Белгілі бір ион-атом келу қатынасында иондық сәуле көмегімен тұндыру термиялық бумен тұндыру арқылы тұндырылған мембраналық қабатқа қарағанда жақсы селективті бағдарға ие.
4. Иондық сәуле көмегімен тұндыру мембрананың коррозияға төзімділігін және тотығуға төзімділігін арттыра алады. Пленка қабатының иондық сәуле көмегімен тұндыру тығыздығына байланысты, пленка негізінің интерфейс құрылымы жақсарады немесе бөлшектер арасындағы түйіршік шекараларының жоғалуы нәтижесінде аморфты күй пайда болады, бұл материалдың коррозияға төзімділігін арттыруға және жоғары температураның тотығуына төзімділікті арттырады.
5. Иондық сәуле көмегімен тұндыру пленканың электромагниттік қасиеттерін өзгертіп, оптикалық жұқа пленкалардың жұмысын жақсарта алады.
6. Иондық көмекпен тұндыру атомдық тұндыру мен ион имплантациясына қатысты параметрлерді дәл және тәуелсіз реттеуге мүмкіндік береді және төмен бомбалау энергияларында тұрақты құраммен бірнеше микрометрлік жабындарды дәйекті түрде жасауға мүмкіндік береді, осылайша әртүрлі жұқа қабықшаларды бөлме температурасында өсіруге болады, бұл оларды жоғары температурада өңдеуден туындауы мүмкін материалдарға немесе дәл бөлшектерге жағымсыз әсерлерден аулақ болуға мүмкіндік береді.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 24 қаңтар