అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ సాంకేతికత

1. అయాన్ బీమ్ సహాయక డిపోజిషన్ టెక్నాలజీ యొక్క ముఖ్య లక్షణం ఏమిటంటే, మెంబ్రేన్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య బలమైన సంసంజనం ఉంటుంది, దీనివల్ల మెంబ్రేన్ పొర చాలా బలంగా ఉంటుంది. ప్రయోగాలు చూపించేదేమిటంటే: థర్మల్ వేపర్ డిపోజిషన్‌తో పోలిస్తే అయాన్ బీమ్-సహాయక డిపోజిషన్‌లో సంసంజనం అనేక రెట్ల నుండి వందల రెట్ల వరకు పెరుగుతుంది. దీనికి ప్రధాన కారణం, ఉపరితలంపై అయాన్ల తాకిడి వల్ల కలిగే శుభ్రపరిచే ప్రభావం. దీనివల్ల మెంబ్రేన్ బేస్ ఇంటర్‌ఫేస్ వద్ద ఒక గ్రేడియంట్ ఇంటర్‌ఫేషియల్ నిర్మాణం లేదా హైబ్రిడ్ ట్రాన్సిషన్ లేయర్ ఏర్పడుతుంది, అలాగే మెంబ్రేన్ ఒత్తిడి కూడా తగ్గుతుంది.

2. అయాన్ బీమ్ సహాయక డిపోజిషన్ పద్ధతి ఫిల్మ్ యొక్క యాంత్రిక లక్షణాలను మెరుగుపరుస్తుంది, ఫెటీగ్ లైఫ్‌ను పొడిగిస్తుంది మరియు ఆక్సైడ్‌లు, కార్బైడ్‌లు, క్యూబిక్ BN, TiB2, మరియు డైమండ్-లైక్ కోటింగ్‌ల తయారీకి చాలా అనుకూలంగా ఉంటుంది. ఉదాహరణకు, 1Cr18Ni9Ti ఉష్ణ-నిరోధక ఉక్కుపై అయాన్-బీమ్-సహాయక డిపోజిషన్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించి 200nm Si3N4 ఫిల్మ్‌ను పెంచడం వల్ల, ఇది పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై ఫెటీగ్ పగుళ్లు ఏర్పడటాన్ని నిరోధించడమే కాకుండా, ఫెటీగ్ పగుళ్ల వ్యాప్తి రేటును కూడా గణనీయంగా తగ్గించి, దాని జీవితకాలాన్ని పొడిగించడంలో మంచి పాత్ర పోషిస్తుంది.

3. అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణం ఫిల్మ్ యొక్క ఒత్తిడి స్వభావాన్ని మార్చగలదు మరియు దాని స్ఫటికాకార నిర్మాణంలో మార్పులు వస్తాయి. ఉదాహరణకు, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై 11.5keV Xe+ లేదా Ar+ బాంబార్డ్‌మెంట్‌తో Cr ఫిల్మ్‌ను తయారుచేసేటప్పుడు, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత, బాంబార్డ్‌మెంట్ అయాన్ శక్తి, అయాన్లు మరియు అణువుల నిష్పత్తిని పారామితులకు అనుగుణంగా సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా, ఒత్తిడిని తన్యత ఒత్తిడి నుండి సంపీడన ఒత్తిడికి మార్చవచ్చని, అలాగే ఫిల్మ్ యొక్క స్ఫటికాకార నిర్మాణంలో కూడా మార్పులు వస్తాయని కనుగొనబడింది. ఒక నిర్దిష్ట అయాన్-టు-అణువు రాక నిష్పత్తిలో, థర్మల్ వేపర్ డిపోజిషన్ ద్వారా నిక్షేపించబడిన పొర కంటే అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణం మెరుగైన ఎంపిక దిశానిర్దేశాన్ని కలిగి ఉంటుంది.

4. అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ పొర యొక్క తుప్పు నిరోధకతను మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకతను మెరుగుపరుస్తుంది. అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ ద్వారా ఏర్పడిన ఫిల్మ్ పొర యొక్క సాంద్రత, ఫిల్మ్ బేస్ ఇంటర్‌ఫేస్ నిర్మాణం మెరుగుపడటం లేదా కణాల మధ్య గ్రెయిన్ సరిహద్దులు అదృశ్యం కావడం వల్ల ఏర్పడే అమార్ఫస్ స్థితి కారణంగా, పదార్థం యొక్క తుప్పు నిరోధకత మెరుగుపడటానికి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఆక్సీకరణను నిరోధించడానికి ఇది దోహదపడుతుంది.

5. అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ ఫిల్మ్ యొక్క విద్యుదయస్కాంత లక్షణాలను మార్చగలదు మరియు ఆప్టికల్ సన్నని ఫిల్మ్‌ల పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది.

6. అయాన్-సహాయక నిక్షేపణ, పరమాణు నిక్షేపణ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్‌కు సంబంధించిన పారామితులను ఖచ్చితంగా మరియు స్వతంత్రంగా సర్దుబాటు చేయడానికి అనుమతిస్తుంది. అలాగే, తక్కువ బాంబార్డ్‌మెంట్ శక్తి వద్ద స్థిరమైన కూర్పుతో కొన్ని మైక్రోమీటర్ల పూతలను వరుసగా ఉత్పత్తి చేయడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. దీనివల్ల, అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పదార్థాలను లేదా ఖచ్చితమైన భాగాలను శుద్ధి చేయడం వలన వాటిపై కలిగే ప్రతికూల ప్రభావాలను నివారించి, గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద వివిధ పలుచని పొరలను పెంచవచ్చు.

–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా