1. Tiknoolajiyada kaydinta ee ka caawisa shucaaca ion waxaa lagu gartaa isku dhejin xooggan oo u dhexeeya xuubka iyo substrate-ka, lakabka xuubka ayaa aad u xoog badan. Tijaabooyinku waxay muujinayaan in: kaydinta ion-ka ee ka caawisa shucaaca ion-ka ee isku dhejinta marka loo eego isku dhejinta uumiga kulaylka ayaa kordhay dhowr jeer ilaa boqolaal jeer, sababtuna waxay inta badan sabab u tahay duqeynta ion-ka ee dusha sare ee saameynta nadiifinta, si isku xirka salka xuubka uu u sameeyo qaab-dhismeed is-dhexgal ah oo isku-dhafan, ama lakabka kala-guurka isku-dhafan, iyo sidoo kale in la yareeyo cadaadiska xuubka.
2. Kaydinta kaalmaynta birta Ion waxay hagaajin kartaa sifooyinka farsamada ee filimka, waxay kordhin kartaa cimriga daalka, aad ugu habboon diyaarinta oksaydhyada, carbide-yada, BN-ga cubic, TiB2, iyo dahaarka dheemanka u eg. Tusaale ahaan, birta 1Cr18Ni9Ti ee u adkaysta kulaylka marka la isticmaalayo tignoolajiyada dhigista ee ion-ka caawisa si loo koriyo filimka 200nm Si3N4, ma aha oo kaliya inay hor istaagi karto soo ifbaxa dildilaaca daalka ee dusha sare ee maaddada, laakiin sidoo kale waxay si weyn u yareyn kartaa heerka faafinta dildilaaca daalka, si loo dheereeyo cimrigeeda waxay leedahay door wanaagsan.
3. Kaydinta kaalmaynta shucaaca ion waxay beddeli kartaa dabeecadda cadaadiska filimka iyo qaab-dhismeedkiisa kristalinta ayaa isbeddela. Tusaale ahaan, diyaarinta filimka Cr oo leh 11.5keV Xe + ama Ar + oo ah bamgareynta dusha sare ee substrate-ka, ayaa lagu ogaaday in hagaajinta heerkulka substrate-ka, tamarta ion-ka bamgareynta, ions-ka iyo atamka si loo gaaro saamiga xuduudaha, ay ka dhigi karto cadaadiska laga bilaabo cadaadiska jiidista ilaa cadaadiska cadaadiska, qaab-dhismeedka kristalinta ee filimku wuxuu sidoo kale soo saari doonaa isbeddello. Iyada oo la raacayo saamiga imaatinka ion-ilaa-atom gaar ah, dhigista kaalmaynta shucaaca ion-ka waxay leedahay jiho xulasho oo ka wanaagsan lakabka xuubka ee ay ku shubto dhigista uumiga kulaylka.
4. Kaydinta birta Ion-ka ee ka caawisa kaydinta waxay kor u qaadi kartaa iska caabbinta daxalka iyo iska caabbinta oksaydhka ee xuubka. Sababtoo ah cufnaanta dhigista birta ion-ka ee lakabka filimka, hagaajinta qaab-dhismeedka isku-xirka saldhigga filimka ama sameynta xaalad aan qaab lahayn oo ay sababto lumitaanka xuduudaha hadhuudhka ee u dhexeeya walxaha, taas oo sahlaysa kor u qaadista iska caabbinta daxalka ee maaddada waxayna iska caabbisaa oksaydhka heerkulka sare.
5. Kaydinta shucaaca Ion-ka ee ka caawisa nuugista waxay beddeli kartaa sifooyinka elektromagnetic-ka ee filimka waxayna hagaajin kartaa waxqabadka filimada khafiifka ah ee indhaha.
6. Kaydinta Ion-ka ee caawisa waxay u oggolaanaysaa hagaajinta saxda ah oo madax-bannaan ee xuduudaha la xiriira dhigista atomiga iyo beerista ion-ka, waxayna u oggolaanaysaa jiilka isdaba jooga ee dahaarka dhowr micrometers oo leh halabuurka joogtada ah ee tamarta duqeynta hoose, si filimaan khafiif ah oo kala duwan loogu kori karo heerkulka qolka, iyadoo laga fogaanayo saameynta xun ee agabka ama qaybaha saxda ah ee laga yaabo inay sababaan daaweynta heerkul sare.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Jan-24-2024