1. Иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү технологиясы мембрана менен субстраттын ортосундагы күчтүү адгезия менен мүнөздөлөт, мембраналык катмар абдан күчтүү. Эксперименттер көрсөткөндөй: иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү жылуулук буусунун чөктүрүүсүнө караганда адгезия бир нече эседен жүздөгөн эсеге чейин көбөйөт, себеби негизинен бетиндеги иондук бомбалоонун тазалоочу эффектине байланыштуу, ошондуктан мембрананын негизинин интерфейси градиенттик интерфейстик түзүлүштү же гибриддик өткөөл катмарды түзөт, ошондой эле мембрананын чыңалышын азайтат.
2. Иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү пленканын механикалык касиеттерин жакшыртып, чарчоо мөөнөтүн узарта алат, оксиддерди, карбиддерди, кубдук BN, TiB2 жана алмаз сымал каптамаларды даярдоого абдан ылайыктуу. Мисалы, 1Cr18Ni9Ti ысыкка чыдамдуу болотто иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү технологиясын колдонуу менен 200 нм Si3N4 пленкасын өстүрүү материалдын бетинде чарчоо жаракаларынын пайда болушун токтотуп гана тим болбостон, чарчоо жаракаларынын диффузия ылдамдыгын бир топ төмөндөтүп, анын иштөө мөөнөтүн узартууга жакшы роль ойнойт.
3. Иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү пленканын чыңалуу мүнөзүн жана анын кристаллдык түзүлүшүн өзгөртө алат. Мисалы, субстраттын бетин 11,5 кэВ Xe+ же Ar+ бомбалоо менен Cr пленкасын даярдоодо, субстраттын температурасын, бомбалоо ион энергиясын, иондорду жана атомдорду параметрлердин катышына жетүү үчүн тууралоо, чыңалуудан кысуу чыңалуусуна чейин чыңалууну жаратышы мүмкүн экени, пленканын кристаллдык түзүлүшү да өзгөрүүлөрдү жаратаары аныкталды. Ион-атомдун келүү катышынын белгилүү бир шарттарында, иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү жылуулук буусунун чөктүрүлүшү менен чөктүрүлгөн мембрана катмарына караганда жакшыраак селективдүү багытка ээ.
4. Ион нурунун жардамы менен чөктүрүү мембрананын коррозияга жана кычкылданууга туруктуулугун жогорулатат. Плёнка катмарынын ион нурунун жардамы менен чөктүрүлүшүнүн тыгыздыгынан улам, пленка базасынын интерфейсинин түзүлүшү жакшырат же бөлүкчөлөрдүн ортосундагы бүртүкчөлөрдүн чек араларынын жоголушунан улам аморфтук абал пайда болот, бул материалдын коррозияга туруктуулугун жогорулатууга жана жогорку температуранын кычкылдануусуна туруштук берүүгө өбөлгө түзөт.
5. Иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү пленканын электромагниттик касиеттерин өзгөртүп, оптикалык жука пленкалардын иштешин жакшырта алат.
6. Иондук жардам менен чөктүрүү атомдук чөктүрүүгө жана ион имплантациясына байланыштуу параметрлерди так жана көз карандысыз түрдө тууралоого мүмкүндүк берет жана төмөнкү бомбалоо энергияларында бир калыптагы курамга ээ бир нече микрометрлик каптоолорду ырааттуу түрдө түзүүгө мүмкүндүк берет, ошентип ар кандай жука пленкаларды бөлмө температурасында өстүрүүгө болот, бул аларды жогорку температурада иштетүүдөн келип чыгышы мүмкүн болгон материалдарга же тактык тетиктерине терс таасирин тийгизүүдөн сактайт.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 24-январы