1. Technologia osadzania wspomaganego wiązką jonów charakteryzuje się silną adhezją między membraną a podłożem, a warstwa membrany jest bardzo wytrzymała. Eksperymenty pokazują, że adhezja w procesie osadzania wspomaganego wiązką jonów jest kilkukrotnie, a nawet kilkusetkrotnie większa niż w termicznym osadzaniu z fazy gazowej. Wynika to głównie z bombardowania jonami powierzchni, co powoduje efekt czyszczenia, a tym samym tworzy gradientową strukturę międzyfazową lub hybrydową warstwę przejściową, a także redukuje naprężenia membrany.
2. Osadzanie wspomagane wiązką jonów może poprawić właściwości mechaniczne powłoki i wydłużyć trwałość zmęczeniową, co jest szczególnie przydatne do przygotowywania powłok tlenkowych, węglikowych, sześciennych BN, TiB2 i diamentopodobnych. Na przykład, w stali żaroodpornej 1Cr18Ni9Ti, zastosowanie technologii osadzania wspomaganego wiązką jonów do wytworzenia warstwy Si3N4 o grubości 200 nm może nie tylko zahamować powstawanie pęknięć zmęczeniowych na powierzchni materiału, ale także znacząco zmniejszyć tempo ich dyfuzji, co ma istotny wpływ na wydłużenie żywotności powłoki.
3. Osadzanie wspomagane wiązką jonów może zmieniać charakter naprężeń w warstwie i jej strukturę krystaliczną. Na przykład, przygotowanie warstwy Cr poprzez bombardowanie powierzchni podłoża wiązkami Xe+ lub Ar+ o energii 11,5 keV wykazało, że dostosowanie temperatury podłoża, energii bombardowania jonami oraz ilości jonów i atomów w celu uzyskania odpowiedniego stosunku parametrów może zmienić naprężenie rozciągające na ściskające, a struktura krystaliczna warstwy również ulegnie zmianie. Przy określonym stosunku liczby jonów do atomów, osadzanie wspomagane wiązką jonów charakteryzuje się lepszą selektywnością orientacji niż warstwa membranowa osadzona metodą termicznego osadzania z fazy gazowej.
4. Osadzanie wspomagane wiązką jonów może zwiększyć odporność membrany na korozję i utlenianie. Ze względu na gęstość warstwy folii nanoszonej wiązką jonów, poprawia się struktura powierzchni międzyfazowej lub powstaje stan amorficzny spowodowany zanikiem granic między ziarnami, co sprzyja zwiększeniu odporności materiału na korozję i zapobiega utlenianiu w wysokiej temperaturze.
5. Osadzanie wspomagane wiązką jonów może zmienić właściwości elektromagnetyczne warstwy i poprawić parametry cienkich warstw optycznych.
6. Osadzanie wspomagane jonami pozwala na precyzyjną i niezależną regulację parametrów związanych z osadzaniem atomowym i implantacją jonów oraz umożliwia kolejne wytwarzanie powłok o grubości kilku mikrometrów o stałym składzie przy niskich energiach bombardowania, dzięki czemu możliwe jest wytwarzanie różnych cienkich warstw w temperaturze pokojowej, bez negatywnego wpływu na materiały lub precyzyjne części, jaki może wystąpić w przypadku ich obróbki w podwyższonych temperaturach.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 24-01-2024