Teknolojia ya Usaidizi wa Uwekaji wa Miale ya Ioni

1. Teknolojia ya uwekaji wa boriti ya ioni inayosaidiwa ina sifa ya kushikamana kwa nguvu kati ya utando na substrate, safu ya utando ni imara sana. Majaribio yanaonyesha kwamba: uwekaji wa boriti ya ioni inayosaidiwa na uwekaji wa mshikamano kuliko uwekaji wa mvuke wa joto ulioongezeka mara kadhaa hadi mamia ya mara, sababu ni hasa kutokana na mlipuko wa ioni kwenye uso wa athari ya kusafisha, ili kiolesura cha msingi cha utando kuunda muundo wa uingiliano wa gradient, au safu ya mpito mseto, pamoja na kupunguza mkazo wa utando.

2. Uwekaji wa boriti ya ioni unaosaidiwa unaweza kuboresha sifa za mitambo za filamu, kuongeza maisha ya uchovu, unaofaa sana kwa ajili ya maandalizi ya oksidi, kabidi, ujazo wa BN, TiB2, na mipako kama almasi. Kwa mfano, katika chuma kinachostahimili joto cha 1Cr18Ni9Ti, teknolojia ya uwekaji inayosaidiwa na boriti ya ioni inatumika kukuza filamu ya 200nm Si3N4, sio tu kwamba inaweza kuzuia kuibuka kwa nyufa za uchovu kwenye uso wa nyenzo, lakini pia hupunguza kwa kiasi kikubwa kiwango cha uenezaji wa nyufa za uchovu, ili kupanua maisha yake ina jukumu nzuri.

3. Uwekaji unaosaidiwa na boriti ya ioni unaweza kubadilisha asili ya mkazo wa filamu na mabadiliko ya muundo wake wa fuwele. Kwa mfano, utayarishaji wa filamu ya Cr yenye 11.5keV Xe + au Ar + uwekaji wa bomu wa uso wa substrate, uligundua kuwa marekebisho ya halijoto ya substrate, nishati ya ioni ya bombardment, ioni na atomi kufikia uwiano wa vigezo, yanaweza kufanya mkazo kutoka kwa mkazo wa mvutano hadi mkazo wa mgandamizo, muundo wa fuwele wa filamu pia utaleta mabadiliko. Chini ya uwiano fulani wa kuwasili kwa ioni-kwa-atomu, uwekaji unaosaidiwa na boriti ya ioni una mwelekeo bora wa kuchagua kuliko safu ya utando iliyowekwa na uwekaji wa mvuke wa joto.

4. Uwekaji unaosaidiwa na boriti ya ioni unaweza kuongeza upinzani wa kutu na upinzani wa oksidi wa utando. Kutokana na msongamano wa uwekaji unaosaidiwa na boriti ya ioni wa safu ya filamu, uboreshaji wa muundo wa msingi wa kiolesura cha filamu au uundaji wa hali isiyo na umbo unaosababishwa na kutoweka kwa mipaka ya chembe kati ya chembe, ambayo inachangia uimarishaji wa upinzani wa kutu wa nyenzo na kupinga oksidi ya joto la juu.

5. Uwekaji wa miale ya ioni unaosaidiwa unaweza kubadilisha sifa za sumakuumeme za filamu na kuboresha utendaji wa filamu nyembamba za macho.

6. Uwekaji unaosaidiwa na ioni huruhusu marekebisho sahihi na huru ya vigezo vinavyohusiana na uwekaji wa atomiki na upandikizaji wa ioni, na huruhusu kizazi mfululizo cha mipako ya mikromita chache zenye muundo thabiti kwa nguvu za chini za mlipuko, ili filamu nyembamba mbalimbali ziweze kupandwa kwenye halijoto ya kawaida, kuepuka athari mbaya kwenye vifaa au sehemu za usahihi ambazo zinaweza kusababishwa na kuzitibu kwenye halijoto ya juu.

– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua