የአዮን ቢም የታገዘ የዴፖዚሽን ቴክኖሎጂ

1. የአዮን ጨረር ድጋፍ ሰጪ የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ በሜምብሬም እና በንጣፉ መካከል ባለው ጠንካራ ማጣበቅ የሚታወቅ ሲሆን የሜምብሬም ንብርብር በጣም ጠንካራ ነው። ሙከራዎች እንደሚያሳዩት፡- የሙቀት ትነት ክምችት ከማጣበቅ ይልቅ የአዮን ጨረር ድጋፍ ሰጪ የማጣበቅ ክምችት በመቶዎች የሚቆጠሩ ጊዜያት ጨምሯል፣ ምክንያቱ በዋናነት በጽዳት ውጤት ወለል ላይ ባለው የአዮን ቦምብ ድብደባ ምክንያት ነው፣ ስለዚህ የሜምብሬም መሠረት በይነገጽ የግራዲየንት ኢንተርፌሻል መዋቅር ወይም የተዳቀለ የሽግግር ንብርብር ለመፍጠር እንዲሁም የሜምብሬም ውጥረትን ለመቀነስ።

2. የአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት ክምችት የፊልሙን ሜካኒካል ባህሪያት ማሻሻል፣ የድካም ህይወትን ማራዘም ይችላል፣ ለኦክሳይድ፣ ለካርቦይድ፣ ለኩቢክ BN፣ ለTiB2 እና ለአልማዝ መሰል ሽፋኖች ዝግጅት በጣም ተስማሚ ነው። ለምሳሌ፣ በ1Cr18Ni9Ti ውስጥ በ200nm Si3N4 ፊልም ለማሳደግ በion-beam-assisted deposition ቴክኖሎጂ ላይ በ1Cr18Ni9Ti ሙቀት-ተከላካይ ብረት ውስጥ፣ በቁሱ ወለል ላይ የድካም ስንጥቆች እንዳይከሰቱ መከላከል ብቻ ሳይሆን የድካም ስንጥቅ ስርጭትን መጠን በእጅጉ መቀነስ ይችላል፣ ይህም ህይወቱን ለማራዘም ጥሩ ሚና ይጫወታል።

3. የአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት ክምችት የፊልሙን የጭንቀት ባህሪ ሊለውጥ እና የክሪስታሊን መዋቅሩ ሊለወጥ ይችላል። ለምሳሌ፣ የCr ፊልም በ11.5kV Xe + ወይም Ar + የንጣፍ ወለል ላይ ቦምብ መዘጋጀቱ የንጣፍ ሙቀት፣ የቦምብ አዮን ኃይል፣ አየኖች እና አቶሞች የፓራሜትር ጥምርታ ላይ ለመድረስ ማስተካከያ ማድረግ ከጭንቀት ውጥረት ወደ መጭመቂያ ውጥረት ሊያመራ እንደሚችል አረጋግጧል፣ የፊልሙ ክሪስታሊን መዋቅር ለውጦችንም ያስከትላል። በተወሰነ የአዮን-ወደ-አቶም የመድረስ ጥምርታ ስር፣ የአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት ክምችት በሙቀት ትነት ክምችት ከተቀመጠው የሽፋን ንብርብር የተሻለ የመራጭ አቀማመጥ አለው።

4. የአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት ክምችት የሽፋኑን የዝገት መቋቋም እና የኦክሳይድ መቋቋምን ሊያሻሽል ይችላል። የፊልም ንብርብር በአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት ክምችት ጥግግት ምክንያት፣ የፊልም መሰረት በይነገጽ መዋቅር መሻሻል ወይም በቅንጣቶቹ መካከል ያለው የእህል ወሰኖች በመጥፋታቸው ምክንያት የሚከሰት የአሞርፎስ ሁኔታ መፈጠር፣ ይህም የቁሳቁሱን የዝገት መቋቋም ለማሻሻል እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ኦክሳይድን ለመቋቋም ይረዳል።

5. የአዮን ጨረር እገዛ የተደረገበት ክምችት የፊልሙን የኤሌክትሮማግኔቲክ ባህሪያት ሊለውጥ እና የኦፕቲካል ቀጭን ፊልሞችን አፈፃፀም ሊያሻሽል ይችላል።

6. በአዮን የታገዘ ክምችት ከአቶሚክ ክምችት እና ከአዮን ተከላ ጋር የተያያዙ መለኪያዎችን ትክክለኛ እና ገለልተኛ ማስተካከያ ያስችላል፣ እና በዝቅተኛ የቦምብ ድብደባ ኃይል ወጥ የሆነ ቅንብር ያላቸው ጥቂት ማይክሮሜትሮችን በተከታታይ እንዲፈጥሩ ያስችላል፣ ስለዚህ የተለያዩ ቀጭን ፊልሞች በክፍል ሙቀት ውስጥ እንዲበቅሉ፣ ከፍ ባለ የሙቀት መጠን በማከም ሊከሰቱ የሚችሉ በቁሳቁሶች ወይም በትክክለኛ ክፍሎች ላይ ያለውን አሉታዊ ተጽእኖ በማስወገድ።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ