Tekonolosi Fa'aputuga Fesoasoani i le Ion Beam

1. O le tekinolosi o le Ion beam assisted deposition e faʻailoaina i le malosi o le pipii i le va o le membrane ma le substrate, e matua malosi lava le vaega o le membrane. Ua faʻaalia i faʻataʻitaʻiga: o le pipii o le ion beam-assisted deposition e faʻateleina ai le pipii o le thermal ausa deposition nai lo le tele o taimi i le selau taimi, o le mafuaʻaga autu e mafua mai i le ion bombardment i luga o le fogāeleele o le aafiaga faʻamamāina, ina ia fausia ai se fausaga interfacial gradient i le membrane base interface, poʻo se hybrid transition layer, faʻapea foʻi ma le faʻaitiitia o le mamafa o le membrane.

2. E mafai e le fa'aputuga fesoasoani a le Ion beam ona fa'aleleia atili meatotino fa'ainisinia o le ata tifaga, fa'alauteleina le ola o le vaivai, e matua talafeagai lava mo le sauniaina o oxides, carbides, cubic BN, TiB2, ma vali e pei o taimane. Mo se fa'ata'ita'iga, i le u'amea e tete'e i le vevela 1Cr18Ni9Ti i le fa'aaogaina o le tekinolosi fa'aputuga fesoasoani a le ion-beam e fa'atupula'ia ai le ata tifaga 200nm Si3N4, e le gata e mafai ona taofia ai le tula'i mai o māvaevae o le vaivai i luga o le mea, ae fa'aitiitia ai fo'i le fua faatatau o le fa'asalalauina o māvaevae o le vaivai, ma fa'alauteleina lona ola e iai sona sao lelei.

3. E mafai e le fa'aputuga fesoasoani a le Ion beam ona suia le natura o le atuatuvale o le ata tifaga ma suia ai lona fausaga tioata. Mo se fa'ata'ita'iga, o le sauniaina o le ata tifaga Cr ma le 11.5keV Xe + po'o le Ar + o le fogāeleele o le substrate, na maua ai o le fetu'una'iga o le vevela o le substrate, le malosi o le ion o le fa'aputuga, ions ma atoms e o'o atu ai i le fua fa'atatau o parakalafa, e mafai ona faia ai le atuatuvale mai le atuatuvale tensile i le atuatuvale compressive, o le fausaga tioata o le ata tifaga o le a faia ai fo'i ni suiga. I lalo o se fua fa'atatau o le ion-to-atom arrival, o le fa'aputuga fesoasoani a le ion beam e sili atu le fa'atulagaina filifilia nai lo le vaega o le membrane na fa'aputuina e le fa'aputuga ausa vevela.

4. E mafai e le fa'aputuga fesoasoani a le ave ion ona fa'aleleia atili le tete'e atu i le 'ele ma le tete'e atu i le 'oxidation' o le membrane. Ona o le mafiafia o le fa'aputuga fesoasoani a le ave ion i le vaega o le ata tifaga, o le fa'aleleia atili o le fausaga o le fa'avae o le ata tifaga po'o le fa'avaeina o se tulaga amorphous e mafua mai i le mou atu o tuaoi o fatu i le va o vaega, lea e fesoasoani i le fa'aleleia atili o le tete'e atu o le mea i le 'ele ma tete'e atu i le 'oxidation' o le vevela maualuga.

5. E mafai e le fa'aputuga fesoasoani a le ion beam ona suia meatotino eletise o le ata tifaga ma fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o ata tifaga manifinifi.

6. O le fa'aputuga fesoasoani a le ion e mafai ai ona fetu'una'i sa'o ma tuto'atasi fa'asologa e feso'ota'i ma le fa'aputuga atomika ma le fa'apipi'iina o le ion, ma e mafai ai ona faia fa'asolosolo ni ufiufi o ni nai micrometers ma se tu'ufa'atasiga tutusa i malosiaga maualalo o le pomu, ina ia mafai ona fa'atupuina ni ata manifinifi eseese i le vevela o le potu, e 'alofia ai a'afiaga leaga i meafaitino po'o vaega sa'o e ono mafua mai i le togafitia i le vevela maualuga.

–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua