1. Synaglar görkezýär: ýylylyk bugynyň çökdürilmeginden has köp ion şöhlesiniň kömegi bilen çökdürilmegi birnäçe gezek ýüzlerçe esse köpeldi, munuň sebäbi esasan arassalaýyş täsiriniň üstünde ion bombalanmagy bilen, membrananyň esasy interfeýsi gradient interfeýs gurluşyny ýa-da gibrid geçiş gatlagyny emele getirýär, şeýle hem membrananyň stresini peseldýär.
2. Mysal üçin, 200nm Si3N4 filmini ösdürip ýetişdirmek üçin ion şöhleli kömekçi çöketlik tehnologiýasyny ulanmakda 1Cr18Ni9Ti ýylylyk çydamly polat, materialyň üstünde ýadawlyk çatryklarynyň döremeginiň öňüni alyp bolman, eýsem ýadawlygyň ýaýramagynyň tizligini ep-esli azaldyp, ömrüni uzaltmak üçin gowy rol oýnaýar.
3. Ion şöhlesiniň kömegi bilen filmiň stres häsiýetini we kristal gurluşyny üýtgedip biler. Mysal üçin, 11.5keV Xe + ýa-da Ar + substratyň üstüni bombalamak bilen Cr filminiň taýýarlanylmagy, substratyň temperaturasynyň, bombalanan ion energiýasynyň, ionlaryň we atomlaryň parametrleriň nisbatlaryna ýetmeginiň sazlanmagy, dartyş stresinden gysyş stresine çenli täsir edip biljekdigini, filmiň kristal gurluşynyň hem üýtgemelere sebäp boljakdygyny ýüze çykardy. Belli bir ion-atom geliş gatnaşygynda, ion şöhlesiniň kömegi bilen ýylylyk bugynyň goýulmagy bilen goýlan membrana gatlagyndan has gowy saýlama ugry bar.
4.Ion şöhlesiniň kömegi bilen membrananyň poslama garşylygy we okislenme garşylygy ýokarlandyrylyp bilner. Film gatlagynyň ion şöhlesiniň kömegi bilen çökdürilişiniň dykyzlygy, filmiň esasy interfeýs gurluşynyň gowulaşmagy ýa-da bölejikleriň arasynda däne araçäkleriniň ýitmegi sebäpli amorf ýagdaýyň emele gelmegi, materialyň poslama garşylygyny ýokarlandyrmaga we ýokary temperaturanyň okislenmegine garşydyr.
5. Ion şöhlesiniň kömegi bilen filmiň elektromagnit aýratynlyklaryny üýtgedip we optiki inçe filmleriň işleýşini gowulandyryp biler.
6. Ion kömegi bilen çökdürmek, atom çökdürilmegi we ion implantasiýasy bilen baglanyşykly parametrleri takyk we garaşsyz sazlamaga mümkinçilik berýär we pes bombaly energiýalarda yzygiderli kompozisiýaly birnäçe mikrometr örtükleri yzygiderli döretmäge mümkinçilik berýär, şeýlelik bilen ýokary temperaturada bejermekde bolup biljek materiallara ýa-da takyk böleklere täsir edip biljek dürli inçe filmleri otag temperaturasynda ösdürip bolýar.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: -20anwar-24-2024