CVD tehnologiýasy himiki reaksiýa esaslanýar. Reaksiýa beriji maddalar gaz görnüşinde we önümleriň biri gaty ýagdaýda bolýan reaksiýa adatça CVD reaksiýasy diýlip atlandyrylýar, şonuň üçin onuň himiki reaksiýa ulgamy aşakdaky üç şerti ýerine ýetirmelidir.
(1) Çökdürme temperaturasynda reagentleriň ýeterlik derejede ýokary bug basyşy bolmaly. Eger reagentleriň hemmesi otag temperaturasynda gaz görnüşinde bolsa, çökdürme enjamy deňeşdirme boýunça ýönekeý, eger reagentler otag temperaturasynda uçujy bolsa, gaty kiçi bolsa, ony uçujy etmek üçin gyzdyrmak gerek, käwagt ony reaksiýa kamerasyna getirmek üçin daşaýjy gazy ulanmak gerek bolýar.
(2) Reaksiýa önümleriniň arasynda, islenýän çökündiden başga ähli maddalar gaz görnüşinde bolmaly, ol bolsa gaty ýagdaýda bolmaly.
(3) Çökdürilen plýonkanyň bug basyşy, çökdürilen plýonkanyň çökdürme reaksiýasy wagtynda belli bir çökdürme temperaturasyna eýe bolan substrata berk ýapyşmagyny üpjün etmek üçin ýeterlik derejede pes bolmaly. Çökdürme temperaturasynda substrat materialynyň bug basyşy hem ýeterlik derejede pes bolmaly.
Çöküntü reaksiýalary aşakdaky üç esasy ýagdaýa bölünýär.
(1) Gaz görnüşindäki ýagdaý. Metan, uglerod dioksidi, ammiak, hlor we ş.m. ýaly otag temperaturasynda gaz görnüşindäki çeşme materiallar, himiki bug çökündilerine iň amatly we akym tizligi aňsatlyk bilen düzgünleşdirilip bilner.
(2) Suwuklyk. Käbir reaksiýa maddalary otagyň temperaturasynda ýa-da biraz ýokary temperaturada, ýokary bug basyşy bolanda, meselem, TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3 we ş.m., gazyň (meselem, H2, N2, Ar) akymyny suwuklygyň ýüzünden ýa-da köpürjikdäki suwuklykdan geçirmek we soňra maddanyň doýgun buglaryny studiýa geçirmek üçin ulanylyp bilner.
(3) Gaty ýagdaý. Laýyk gaz ýa-da suwuk çeşme bolmadyk ýagdaýynda, diňe gaty ýagdaýdaky çig mal ulanylyp bilner. Käbir elementler ýa-da olaryň birleşmeleri ýüzlerçe gradusda ep-esli bug basyşyna eýedir, meselem, TaCl5, Nbcl5, ZrCl4 we ş.m., plýonka gatlagyna ýerleşdirilen daşaýjy gaz arkaly studiýa äkidilip bilner.
Has köp duş gelýän ýagdaý, belli bir gaz we çeşme materialy arkaly gaz-gaty ýa-da gaz-suwuklyk reaksiýasy arkaly, studiýa eltilýän degişli gaz komponentleriniň emele gelmegidir. Mysal üçin, HCl gazy we metal Ga reaksiýa girip, gaz komponenti GaCl-ni emele getirýär, ol bolsa studiýa GaCl görnüşinde daşalýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 16-njy noýabry