Технологияи CVD ба реаксияи кимиёвӣ асос ёфтааст. Реаксияе, ки дар он реактивҳо дар ҳолати газӣ ва яке аз маҳсулот дар ҳолати сахт қарор дорад, одатан реаксияи CVD номида мешавад, аз ин рӯ, системаи реаксияи кимиёвии он бояд се шарти зеринро иҷро кунад.
(1) Дар ҳарорати таҳшиншавӣ, реактивҳо бояд фишори буғи кофӣ баланд дошта бошанд. Агар реактивҳо дар ҳарорати хонагӣ ҳама газӣ бошанд, дастгоҳи таҳшиншавӣ нисбатан содда аст, агар реактивҳо дар ҳарорати хонагӣ хеле ночиз бошанд, онро барои таҳшиншавӣ гарм кардан лозим аст ва баъзан барои овардани он ба камераи реаксия гази интиқолдиҳандаро истифода бурдан лозим аст.
(2) Аз маҳсулоти реаксия, ҳамаи моддаҳо бояд дар ҳолати газӣ бошанд, ба истиснои таҳшини дилхоҳ, ки дар ҳолати сахт аст.
(3) Фишори буғи плёнкаи гузошташуда бояд ба қадри кофӣ паст бошад, то боварӣ ҳосил шавад, ки плёнкаи гузошташуда ҳангоми реаксияи гузоштан ба субстрате, ки ҳарорати муайяни гузоштан дорад, мустаҳкам часпида мешавад. Фишори буғи маводи субстрат дар ҳарорати гузоштан низ бояд ба қадри кофӣ паст бошад.
Реактивҳои таҳшинӣ ба се ҳолати асосии зерин тақсим мешаванд.
(1) Ҳолати газӣ. Маводҳои сарчашмае, ки дар ҳарорати хонагӣ газӣ мебошанд, ба монанди метан, гази карбон, аммиак, хлор ва ғайра, ки барои таҳшиншавии буғи кимиёвӣ бештар мусоид мебошанд ва суръати ҷараён барои онҳо ба осонӣ танзим карда мешавад.
(2) Моеъ. Баъзе моддаҳои реаксияшуда дар ҳарорати хонагӣ ё каме баландтар, бо фишори буғи баланд, ба монанди TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3 ва ғайра, метавонанд барои интиқоли ҷараёни газ (ба монанди H2, N2, Ar) тавассути сатҳи моеъ ё моеъ дар дохили ҳубобча ва сипас интиқоли буғҳои сершудаи модда ба студия истифода шаванд.
(3) Ҳолати сахт. Дар сурати набудани манбаи мувофиқи газӣ ё моеъ, танҳо ашёи хоми ҳолати сахтро истифода бурдан мумкин аст. Баъзе унсурҳо ё пайвастагиҳои онҳо дар садҳо дараҷа фишори буғи назаррас доранд, ба монанди TaCl5, Nbcl5, ZrCl4 ва ғайра, метавонанд бо истифода аз гази интиқолдиҳандае, ки дар қабати плёнка ҷойгир карда шудааст, ба студия интиқол дода шаванд.
Дар вазъияти маъмултарин, реаксияи гази муайян ва маводи манбаъ - газ-сахт ё газ-моеъ ба вуҷуд меояд, ки ин ташаккули ҷузъҳои газшакли мувофиқ ба студия мебошад. Масалан, гази HCl ва металли Ga ба GaCl реаксия карда, ҷузъи газшакли GaCl-ро ташкил медиҳанд, ки дар шакли GaCl ба студия интиқол дода мешавад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 16 ноябри соли 2023