Hoʻokumu ʻia ka ʻenehana CVD ma ka hopena kemika. ʻO ka hopena kahi e noho ai nā reactants i ke ʻano kinoea a aia kekahi o nā huahana i ke ʻano paʻa e kapa pinepine ʻia ʻo ia ka hopena CVD, no laila pono i kāna ʻōnaehana hopena kemika ke hoʻokō i nā kūlana ʻekolu aʻe.
(1) I ka mahana hoʻomoe ʻana, pono i nā mea hana ke loaʻa i kahi kaomi mahu kiʻekiʻe kūpono. Inā he kinoea nā mea hana a pau i ka mahana o ka lumi, he maʻalahi ka mea hana hoʻomoe, inā he volatile nā mea hana i ka mahana o ka lumi he liʻiliʻi loa, pono e hoʻomehana ʻia e hoʻolilo iā ia i volatile, a i kekahi manawa pono e hoʻohana i ke kinoea lawe e lawe mai iā ia i ke keʻena hana.
(2) No nā huahana hopena, pono nā mea āpau i ke ʻano kinoea koe wale nō ka waihona i makemake ʻia, aia i ke ʻano paʻa.
(3) Pono e haʻahaʻa ke kaomi mahu o ka ʻili i waiho ʻia e hōʻoia i ka hoʻopaʻa pono ʻia ʻana o ka ʻili i waiho ʻia i kahi substrate me kahi mahana waiho ʻana i ka wā o ka hopena waiho ʻana. Pono hoʻi e haʻahaʻa ke kaomi mahu o ka mea substrate ma ka mahana waiho ʻana.
Ua māhele ʻia nā mea hana hoʻopili i ʻekolu mau kūlana nui.
(1) Ke ʻano kinoea. ʻO nā mea kumu i kinoea i ka mahana o ka lumi, e like me ka methane, carbon dioxide, ammonia, chlorine, a me nā mea ʻē aʻe, nā mea kūpono loa i ka waiho ʻana o ka mahu kemika, a no ia mea hiki ke hoʻoponopono maʻalahi ʻia ke kahe ʻana.
(2) Wai. ʻO kekahi mau mea hana i ka mahana o ka lumi a i ʻole ke kiʻekiʻe iki o ka mahana, aia kahi kaomi mahu kiʻekiʻe, e like me TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, a pēlā aku, hiki ke hoʻohana ʻia e lawe i ke kinoea (e like me H2, N2, Ar) e kahe ana ma o ka ʻili o ka wai a i ʻole ka wai i loko o ka pehu, a laila lawe i nā mahu piha o ka mea i loko o ke keʻena hana.
(3) Kūlana paʻa. I ka loaʻa ʻole o kahi kumu kinoea a wai paha kūpono, hiki ke hoʻohana ʻia nā mea hānai kūlana paʻa wale nō. ʻO kekahi mau mea a i ʻole ko lākou mau hui i nā haneli o ke kekelē he nui ke kaomi mahu, e like me TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, a pēlā aku, hiki ke lawe ʻia i loko o ke keʻena hana me ka hoʻohana ʻana i ke kinoea lawe i waiho ʻia i loko o ka papa kiʻiʻoniʻoni.
ʻO ke ʻano kūlana maʻamau ma o kahi kinoea a me ke kumu o ka hopena kinoea-paʻa a kinoea-wai paha, e hoʻokumu ana i nā ʻāpana kinoea kūpono i ka lawe ʻana o ke keʻena hana. No ka laʻana, pane ke kinoea HCl a me ka metala Ga e hana i ka ʻāpana kinoea GaCl, kahi e lawe ʻia ai i ke keʻena hana ma ke ʻano o GaCl.
–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Nov-16-2023