Ụkpụrụ ọrụ teknụzụ CVD

Teknụzụ CVD dabere na mmeghachi omume kemịkalụ. A na-akpọkarị mmeghachi omume ebe ihe ndị na-emeghachi omume nọ n'ọnọdụ gas na otu n'ime ngwaahịa ahụ nọ n'ọnọdụ siri ike mmeghachi omume CVD, ya mere sistemụ mmeghachi omume kemịkalụ ya ga-emezu ihe atọ ndị a.

(1) N'oge okpomọkụ nke ihe e tinyere n'ime ụlọ, ihe e tinyere n'ime ụlọ ga-enwerịrị nrụgide uzuoku zuru oke. Ọ bụrụ na ihe e tinyere n'ime ụlọ niile nwere gas na okpomọkụ ụlọ, ngwaọrụ ihe e tinyere n'ime ụlọ dị mfe, ọ bụrụ na ihe e tinyere n'ime ụlọ na-agbanwe agbanwe na okpomọkụ ụlọ dị obere, ọ dị mkpa ka a kpoo ya ọkụ ka ọ ghara ịgbanwe agbanwe, mgbe ụfọdụkwa, ọ dị mkpa iji gas ebuga ya iji weta ya n'ime ụlọ ihe e tinyere ...
(2) N'ime ngwaahịa mmeghachi omume, ihe niile ga-adịrịrị n'ọnọdụ gas ma e wezụga ebe a chọrọ itinye, nke dị n'ọnọdụ siri ike.
(3) Nrụgide uzuoku nke ihe nkiri ahụ e tinyere kwesịrị ịdị ala nke ọma iji hụ na ihe nkiri ahụ e tinyere na ya jikọtara nke ọma na ihe nwere okpomọkụ ụfọdụ n'oge mmeghachi omume nke ihe ahụ e tinyere na ya. Nrụgide uzuoku nke ihe ahụ e tinyere na ya na okpomọkụ nke ihe ahụ kwesịrị ịdị ala nke ọma.
A na-ekewa ihe ndị na-eme ka ihe ndị na-eme ka ihe dị n'ime ihe ndị a n'ime steeti atọ dị mkpa.
(1) Ọnọdụ gas. Ihe ndị na-esi na ya apụta bụ gas n'ọnọdụ okpomọkụ ụlọ, dịka methane, carbon dioxide, ammonia, chlorine, wdg, nke kacha enyere aka itinye uzuoku kemịkalụ, nke a na-achịkwa ọsọ mmiri ya ngwa ngwa.
(2) Mmiri mmiri. Ụfọdụ ihe mmeghachi omume na okpomọkụ ụlọ ma ọ bụ okpomọkụ dị ntakịrị elu, enwere nrụgide uzuoku dị elu, dị ka TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, wdg., enwere ike iji ibuga gas (dị ka H2, N2, Ar) na-agafe n'elu mmiri mmiri ma ọ bụ mmiri mmiri dị n'ime afụ ahụ, wee buru uzuoku juru eju nke ihe ahụ gaa na studio.
(3) Ọnọdụ siri ike. Ọ bụrụ na enweghị isi iyi gas ma ọ bụ mmiri mmiri kwesịrị ekwesị, naanị ihe oriri siri ike nwere ike iji. Ụfọdụ ihe ma ọ bụ ihe mejupụtara ha na narị ogo nwere nnukwu nrụgide uzuoku, dịka TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, wdg., enwere ike ibuga ha n'ime ụlọ ọrụ ahụ site na iji gas ebuga nke etinyere n'ime oyi akwa ihe nkiri ahụ.
Ọnọdụ a na-ahụkarị na-esi na gas ụfọdụ na mmeghachi omume gas-siri ike ma ọ bụ gas-liquid, nke bụ nhazi nke ihe gas kwesịrị ekwesị na nnyefe studio. Dịka ọmụmaatụ, gas HCl na metal Ga na-emeghachi omume na mmepụta gas GaCl, nke a na-ebuga na studio n'ụdị GaCl.

–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua