CVD প্রযুক্তি রাসায়নিক বিক্রিয়ার উপর ভিত্তি করে গঠিত। যে বিক্রিয়ায় বিক্রিয়কগুলো গ্যাসীয় অবস্থায় এবং উৎপাদগুলোর মধ্যে একটি কঠিন অবস্থায় থাকে, তাকে সাধারণত CVD বিক্রিয়া বলা হয়। সুতরাং, এর রাসায়নিক বিক্রিয়া ব্যবস্থাকে অবশ্যই নিম্নলিখিত তিনটি শর্ত পূরণ করতে হবে।
(1) অধঃক্ষেপণ তাপমাত্রায়, বিক্রিয়কগুলির অবশ্যই যথেষ্ট উচ্চ বাষ্পচাপ থাকতে হবে। যদি বিক্রিয়কগুলি কক্ষ তাপমাত্রায় সবই গ্যাসীয় হয়, তবে অধঃক্ষেপণ যন্ত্রটি তুলনামূলকভাবে সহজ, যদি বিক্রিয়কগুলির কক্ষ তাপমাত্রায় উদ্বায়িতা খুব কম হয়, তবে সেগুলিকে উদ্বায়ী করার জন্য উত্তপ্ত করতে হয়, এবং কখনও কখনও বাহক গ্যাস ব্যবহার করে সেগুলিকে বিক্রিয়া কক্ষে নিয়ে আসার প্রয়োজন হয়।
(2) বিক্রিয়ার উৎপাদগুলির মধ্যে, কাঙ্ক্ষিত অধঃক্ষেপ ব্যতীত সমস্ত পদার্থ অবশ্যই গ্যাসীয় অবস্থায় থাকতে হবে, যা কঠিন অবস্থায় থাকে।
(3) জমা হওয়া ফিল্মের বাষ্পচাপ এত কম হওয়া উচিত যাতে জমা হওয়ার বিক্রিয়ার সময় জমা হওয়া ফিল্মটি একটি নির্দিষ্ট জমা হওয়ার তাপমাত্রা সহ একটি সাবস্ট্রেটের সাথে দৃঢ়ভাবে সংযুক্ত থাকে। জমা হওয়ার তাপমাত্রায় সাবস্ট্রেট উপাদানের বাষ্পচাপও যথেষ্ট কম হতে হবে।
অধঃক্ষেপণ বিক্রিয়কগুলিকে নিম্নলিখিত তিনটি প্রধান অবস্থায় বিভক্ত করা হয়।
(1) গ্যাসীয় অবস্থা। উৎস পদার্থ যা কক্ষ তাপমাত্রায় গ্যাসীয়, যেমন মিথেন, কার্বন ডাই অক্সাইড, অ্যামোনিয়া, ক্লোরিন ইত্যাদি, যা রাসায়নিক বাষ্প অধঃক্ষেপণের জন্য সবচেয়ে উপযোগী এবং যার প্রবাহ হার সহজেই নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
(2) তরল। কিছু বিক্রিয়াশীল পদার্থের, যেমন TiCl4, SiCl4, CH3SiCl3, ইত্যাদির, কক্ষ তাপমাত্রায় বা তার থেকে সামান্য বেশি তাপমাত্রায় উচ্চ বাষ্পচাপ থাকে। এগুলোকে তরলের পৃষ্ঠতলে বা তরলের ভিতরে বুদবুদের মাধ্যমে গ্যাস (যেমন H2, N2, Ar) প্রবাহিত করতে এবং তারপর পদার্থটির সম্পৃক্ত বাষ্পকে স্টুডিওতে নিয়ে যেতে ব্যবহার করা যেতে পারে।
(3) কঠিন অবস্থা। উপযুক্ত গ্যাসীয় বা তরল উৎসের অভাবে, শুধুমাত্র কঠিন-অবস্থার ফিডস্টক ব্যবহার করা যেতে পারে। কিছু মৌল বা তাদের যৌগের শত শত ডিগ্রিতে যথেষ্ট বাষ্পচাপ থাকে, যেমন TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, ইত্যাদি, যা ক্যারিয়ার গ্যাস ব্যবহার করে স্টুডিওতে নিয়ে আসা যায় এবং ফিল্ম স্তরে জমা করা হয়।
সাধারণত, একটি নির্দিষ্ট গ্যাস এবং উৎস উপাদানের মধ্যে গ্যাস-কঠিন বা গ্যাস-তরল বিক্রিয়ার মাধ্যমে উপযুক্ত গ্যাসীয় উপাদান তৈরি হয় এবং স্টুডিওতে তা সরবরাহ করা হয়। উদাহরণস্বরূপ, HCl গ্যাস এবং Ga ধাতু বিক্রিয়া করে GaCl গ্যাসীয় উপাদান তৈরি করে, যা GaCl আকারে স্টুডিওতে পরিবহন করা হয়।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ১৬ নভেম্বর, ২০২৩