បច្ចេកវិទ្យា CVD គឺផ្អែកលើប្រតិកម្មគីមី។ ប្រតិកម្មដែលសារធាតុប្រតិកម្មស្ថិតនៅក្នុងសភាពឧស្ម័ន ហើយផលិតផលមួយក្នុងចំណោមផលិតផលស្ថិតក្នុងសភាពរឹង ជាធម្មតាត្រូវបានគេហៅថាប្រតិកម្ម CVD ដូច្នេះប្រព័ន្ធប្រតិកម្មគីមីរបស់វាត្រូវតែបំពេញលក្ខខណ្ឌបីខាងក្រោម។
(1) នៅសីតុណ្ហភាពដាក់សារធាតុ សារធាតុប្រតិកម្មត្រូវតែមានសម្ពាធចំហាយខ្ពស់គ្រប់គ្រាន់។ ប្រសិនបើសារធាតុប្រតិកម្មទាំងអស់សុទ្ធតែជាឧស្ម័ននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ឧបករណ៍ដាក់សារធាតុប្រតិកម្មគឺសាមញ្ញណាស់ ប្រសិនបើសារធាតុប្រតិកម្មងាយនឹងបង្កជាឧស្ម័ននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់គឺតូចណាស់ វាត្រូវការកំដៅដើម្បីធ្វើឱ្យវាងាយនឹងបង្កជាឧស្ម័ន ហើយជួនកាលត្រូវប្រើឧស្ម័នផ្ទុកដើម្បីនាំវាទៅបន្ទប់ប្រតិកម្ម។
(2) ក្នុងចំណោមផលិតផលប្រតិកម្ម សារធាតុទាំងអស់ត្រូវតែស្ថិតក្នុងសភាពឧស្ម័ន លើកលែងតែកំណកដែលចង់បាន ដែលស្ថិតក្នុងសភាពរឹង។
(3) សម្ពាធចំហាយនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់គួរតែទាបគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីធានាថាខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ត្រូវបានភ្ជាប់យ៉ាងរឹងមាំទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានសីតុណ្ហភាពដាក់ជាក់លាក់មួយក្នុងអំឡុងពេលប្រតិកម្មដាក់។ សម្ពាធចំហាយនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមនៅសីតុណ្ហភាពដាក់ក៏ត្រូវតែទាបគ្រប់គ្រាន់ផងដែរ។
សារធាតុប្រតិកម្មដាក់សារធាតុត្រូវបានបែងចែកជាបីស្ថានភាពសំខាន់ៗដូចខាងក្រោម។
(1) ស្ថានភាពឧស្ម័ន។ វត្ថុធាតុដើមដែលមានឧស្ម័ននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ដូចជាមេតាន កាបូនឌីអុកស៊ីត អាម៉ូញាក់ ក្លរីន ជាដើម ដែលអំណោយផលបំផុតដល់ការដាក់ចំហាយគីមី និងដែលអត្រាលំហូរត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងងាយស្រួល។
(2) រាវ។ សារធាតុប្រតិកម្មមួយចំនួននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ ឬសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងបន្តិច ដែលមានសម្ពាធចំហាយខ្ពស់ ដូចជា TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3 ជាដើម អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីដឹកឧស្ម័ន (ដូចជា H2, N2, Ar) ឆ្លងកាត់ផ្ទៃរាវ ឬរាវនៅខាងក្នុងពពុះ ហើយបន្ទាប់មកដឹកចំហាយឆ្អែតនៃសារធាតុចូលទៅក្នុងស្ទូឌីយោ។
(3) សភាពរឹង។ ក្នុងករណីដែលគ្មានប្រភពឧស្ម័ន ឬរាវសមស្រប មានតែវត្ថុធាតុដើមសភាពរឹងប៉ុណ្ណោះដែលអាចប្រើបាន។ ធាតុមួយចំនួន ឬសមាសធាតុរបស់វាក្នុងសីតុណ្ហភាពរាប់រយអង្សាសេ មានសម្ពាធចំហាយច្រើន ដូចជា TaCl5, Nbcl5, ZrCl4 ជាដើម អាចត្រូវបានដឹកចូលទៅក្នុងស្ទូឌីយោដោយប្រើឧស្ម័នផ្ទុកដែលដាក់ចូលទៅក្នុងស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។
ស្ថានភាពទូទៅជាងនេះទៅទៀត តាមរយៈឧស្ម័នជាក់លាក់មួយ និងប្រតិកម្មឧស្ម័ន-រឹង ឬឧស្ម័ន-រាវ ការបង្កើតសមាសធាតុឧស្ម័នសមស្របទៅនឹងការដឹកជញ្ជូនស្ទូឌីយោ។ ឧទាហរណ៍ ឧស្ម័ន HCl និងលោហៈ Ga មានប្រតិកម្មដើម្បីបង្កើតជាសមាសធាតុឧស្ម័ន GaCl ដែលត្រូវបានដឹកជញ្ជូនទៅកាន់ស្ទូឌីយោក្នុងទម្រង់ជា GaCl។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៦ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៣