Cov txheej txheem CVD yog raws li kev tshuaj lom neeg. Cov tshuaj tiv thaiv uas cov tshuaj reactants nyob hauv lub xeev gaseous thiab ib qho ntawm cov khoom nyob hauv lub xeev khov kho feem ntau hu ua CVD tshuaj tiv thaiv, yog li nws lub cev tshuaj tiv thaiv yuav tsum ua tiav peb yam hauv qab no.
(1) Ntawm qhov kub thiab txias, cov tshuaj reactants yuav tsum muaj lub siab vapor siab txaus. Yog tias cov tshuaj reactants yog cov roj hauv chav tsev, lub cuab yeej deposition yooj yim heev, yog tias cov tshuaj reactants tsis ruaj khov ntawm chav tsev kub heev, nws yuav tsum tau cua sov kom ua rau nws tsis ruaj khov, thiab qee zaum yuav tsum siv cov roj nqa khoom coj mus rau chav tshuaj tiv thaiv.
(2) Ntawm cov khoom tsim tawm, txhua yam khoom yuav tsum nyob hauv lub xeev roj tsuas yog qhov tso nyiaj xav tau, uas yog nyob rau hauv lub xeev khov.
(3) Lub zog ntawm cov zaj duab xis uas tau tso tawm yuav tsum qis txaus kom ntseeg tau tias cov zaj duab xis uas tau tso tawm tau txuas nrog lub substrate uas muaj qee qhov kub thiab txias thaum lub sijhawm tso tawm. Lub zog ntawm cov khoom siv substrate ntawm qhov kub thiab txias yuav tsum qis txaus.
Cov tshuaj reactants deposition raug muab faib ua peb lub xeev tseem ceeb hauv qab no.
(1) Lub xeev roj. Cov ntaub ntawv uas yog roj ntawm chav tsev kub, xws li methane, carbon dioxide, ammonia, chlorine, thiab lwm yam, uas yog qhov zoo tshaj plaws rau kev tso pa tshuaj lom neeg, thiab uas tus nqi ntws yooj yim tswj.
(2) Kua. Qee cov tshuaj tiv thaiv ntawm chav tsev kub lossis qhov kub siab dua me ntsis, muaj lub siab vapor siab, xws li TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, thiab lwm yam, tuaj yeem siv los nqa cov roj (xws li H2, N2, Ar) ntws los ntawm qhov chaw ntawm cov kua lossis cov kua hauv lub npuas, thiab tom qab ntawd nqa cov pa roj ntawm cov tshuaj mus rau hauv chav ua haujlwm.
(3) Cov khoom khov kho. Yog tias tsis muaj qhov chaw tsim nyog rau cov roj lossis cov kua, tsuas yog cov khoom noj khov kho xwb thiaj siv tau. Qee cov ntsiab lus lossis lawv cov tshuaj sib xyaw hauv ntau pua degrees muaj qhov siab ntawm cov pa dej, xws li TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, thiab lwm yam, tuaj yeem nqa mus rau hauv chav ua haujlwm siv cov roj thauj khoom uas tau tso rau hauv txheej zaj duab xis.
Qhov xwm txheej feem ntau tshwm sim los ntawm ib qho roj thiab cov khoom siv roj-khoom lossis roj-kua, kev tsim cov khoom siv roj tsim nyog rau kev xa khoom hauv studio. Piv txwv li, HCl roj thiab hlau Ga ua rau cov khoom siv roj GaCl, uas raug thauj mus rau studio hauv daim ntawv GaCl.
– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Kaum Ib Hlis-16-2023