Awọn ipilẹ iṣẹ-ṣiṣe imọ-ẹrọ CVD

Ìmọ̀-ẹ̀rọ CVD dá lórí ìṣesí kẹ́míkà. Ìṣesí tí àwọn ohun tí ń ṣe àtúnṣe wà ní ipò gáàsì àti ọ̀kan lára ​​àwọn ọjà náà wà ní ipò líle ni a sábà máa ń pè ní ìṣesí CVD, nítorí náà ètò ìṣesí kẹ́míkà rẹ̀ gbọ́dọ̀ mú àwọn ipò mẹ́ta wọ̀nyí ṣẹ.

(1) Ní ìwọ̀n otútù ìfipamọ́, àwọn ohun tí ń fa ìfàsímú gbọ́dọ̀ ní ìwọ̀n otútù gíga tó. Tí gbogbo àwọn ohun tí ń fa ìfàsímú bá jẹ́ gaasi ní ìwọ̀n otútù yàrá, ohun èlò ìfipamọ́ náà rọrùn díẹ̀, tí àwọn ohun tí ń fa ìfàsímú bá jẹ́ oníyípadà ní ìwọ̀n otútù yàrá bá kéré gan-an, ó nílò kí a gbóná rẹ̀ kí ó lè yí padà, nígbà míìrán ó nílò láti lo gaasi tí ń gbé e láti mú un wá sí yàrá ìfàsímú.
(2) Nínú àwọn ọjà ìhùwàpadà, gbogbo àwọn ohun èlò gbọ́dọ̀ wà ní ipò gáàsì àyàfi ibi tí a fẹ́ kó pamọ́ sí, èyí tí ó wà ní ipò líle.
(3) Ìfúnpá èéfín fíìmù tí a fi pamọ́ yẹ kí ó kéré tó láti rí i dájú pé fíìmù tí a fi pamọ́ so mọ́ ohun èlò tí ó ní ìwọ̀n otútù kan nígbà tí a fi pamọ́ sínú rẹ̀. Ìfúnpá èéfín fíìmù tí a fi pamọ́ sínú rẹ̀ ní ìwọ̀n otútù fíìmù náà gbọ́dọ̀ kéré tó.
A pín àwọn ohun tí a fi ń ṣe àtúnṣe sí àwọn ipò pàtàkì mẹ́ta wọ̀nyí.
(1) Ipò Gáàsì. Àwọn ohun èlò orísun tí ó jẹ́ gáàsì ní iwọ̀n otútù yàrá, bíi methane, carbon dioxide, ammonia, chlorine, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, èyí tí ó ṣe pàtàkì jùlọ fún ìtújáde èéfín kẹ́míkà, tí a sì lè ṣe àtúnṣe ìwọ̀n ìṣàn náà lọ́nà tí ó rọrùn.
(2) Omi. Àwọn ohun kan tí ó ń ṣe ìhùwàsí ní iwọ̀n otútù yàrá tàbí iwọ̀n otútù tí ó ga díẹ̀, a lè lo ìfúnpá afẹ́fẹ́ gíga, bíi TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, láti gbé gáàsì (bíi H2, N2, Ar) kọjá ojú omi tàbí omi inú afẹ́fẹ́ náà, lẹ́yìn náà a lè gbé àwọn afẹ́fẹ́ tí ó kún fún ohun náà sínú ilé iṣẹ́ náà.
(3) Ipò líle. Tí kò bá sí orísun gaasi tàbí omi tó yẹ, àwọn ohun èlò ìtọ́jú solid-state nìkan ni a lè lò. Àwọn èròjà kan tàbí àwọn èròjà wọn ní ọgọ́rọ̀ọ̀rún ìwọ̀n ní ìfúnpá afẹ́fẹ́ tó pọ̀, bíi TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, ni a lè gbé lọ sí ilé iṣẹ́ nípa lílo gaasi amúlétutù tí a gbé sínú fíìmù náà.
Ipo ti o wọpọ julọ maa n waye nipasẹ gaasi kan ati ohun elo orisun reaction gaasi-solid tabi gaasi-liquid, dida awọn eroja gaasi ti o yẹ si ifijiṣẹ sitẹdio naa. Fun apẹẹrẹ, gaasi HCl ati irin Ga n ṣe atunṣe si ipilẹ gaasi GaCl, eyiti a gbe lọ si ile-iṣẹ naa ni irisi GaCl.

–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua