Mifototra amin'ny fihetsika simika ny teknolojia CVD. Ny fihetsika izay misy gazy ny zavatra mihetsika ary ny iray amin'ireo vokatra dia ao anaty toetry ny zavatra mivaingana dia matetika antsoina hoe fihetsika CVD, noho izany dia tsy maintsy mahafeno ireto fepetra telo manaraka ireto ny rafitra fihetsika simika ao aminy.
(1) Amin'ny mari-pana fametrahana, dia tsy maintsy avo dia avo ny tsindrin'ny etona ao amin'ireo zavatra mihetsika. Raha entona avokoa ireo zavatra mihetsika amin'ny mari-pana efitrano, dia tsotra ny fitaovana fametrahana, raha toa ka mivaingana ireo zavatra mihetsika amin'ny mari-pana kely dia kely, dia mila hafanaina mba hahatonga azy ho mivaingana, ary indraindray mila mampiasa ny entona mpitondra mba hitondrana azy any amin'ny efitrano fanehoan-kevitra.
(2) Amin'ireo vokatra azo avy amin'ny fihetsehana, ny akora rehetra dia tsy maintsy ao anatin'ny toetry ny entona afa-tsy ny zavatra irina, izay ao anatin'ny toetry ny zavatra mivaingana.
(3) Tokony ho ambany dia ambany ny tsindrin'ny etona amin'ny sarimihetsika napetraka mba hahazoana antoka fa miraikitra tsara amin'ny substrate manana mari-pana fametrahana voafaritra mandritra ny fihetsiky ny fametrahana ny sarimihetsika napetraka. Tsy maintsy ambany ihany koa ny tsindrin'ny etona amin'ny substrate amin'ny mari-pana fametrahana.
Mizara ho toetra telo lehibe manaraka ireto ireo akora mpamadika fangaro.
(1) Toetra entona. Akora loharano entona amin'ny mari-pana ao an-trano, toy ny metana, gazy karbonika, amoniaka, klôro, sns., izay tena manampy amin'ny fametrahana etona simika, ary mora fehezina ny tahan'ny fikorianan'ny entona.
(2) Ranoka. Ny akora sasany mihetsika amin'ny mari-pana ao an-trano na ambony kokoa kely, izay misy tsindrin'ny etona avo, toy ny TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, sns., dia azo ampiasaina hitondrana ny entona (toy ny H2, N2, Ar) mikoriana amin'ny velaran'ny ranoka na ny ranoka ao anatin'ny fiboiboika, ary avy eo mitondra ny etona mahavoky ny akora mankany amin'ny studio.
(3) Toetra mivaingana. Raha tsy misy loharano entona na ranoka mety tsara, dia ny akora fototra mivaingana ihany no azo ampiasaina. Ny singa sasany na ny fitambarany amin'ny ambaratonga an-jatony dia manana tsindry etona be, toy ny TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, sns., dia azo entina any amin'ny studio amin'ny alàlan'ny entona mpitondra napetraka ao amin'ny sosona sarimihetsika.
Ny karazana toe-javatra mahazatra kokoa dia ny fiforonan'ny singa entona mety tsara amin'ny alalan'ny fihetsiky ny entona-mafy na ny entona-rano avy amin'ny akora fototra, izay ahafahan'ny singa entona HCl miditra ao amin'ny studio. Ohatra, ny entona HCl sy ny metaly Ga dia mihetsika mba hamorona singa entona GaCl, izay alefa any amin'ny studio amin'ny endrika GaCl.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 16 Novambra 2023