Tekinoroji yeCVD yakavakirwa pakuita kwemakemikari. Kuita apo reactants dziri muchimiro chegasi uye chimwe chezvigadzirwa chiri muchimiro chakasimba kunowanzonzi CVD reaction, saka sisitimu yayo yekuita kwemakemikari inofanira kuzadzisa zvinotevera zvitatu.
(1) Pakupisa kwekuisa, zvinogadziriswa zvinofanira kunge zvine kumanikidzwa kwemhepo kwakakwira zvakakwana. Kana zvinogadziriswa zvese zviri gasi pakupisa kwemumba, mudziyo wekuisa uri nyore, kana zvinogadziriswa zviri kuchinjika pakupisa kwemumba uri mudiki kwazvo, zvinoda kudziiswa kuti zvichinjike, uye dzimwe nguva zvinoda kushandisa gasi rinotakura kuti riunzwe mukamuri rekuita.
(2) Pazvinhu zvinogadzirwa nemagetsi, zvinhu zvese zvinofanira kunge zviri muchimiro chegasi kunze kwenzvimbo yaunoda, iyo iri muchimiro chakasimba.
(3) Kumanikidzwa kwemhepo yefirimu rakaiswa kunofanira kunge kwakaderera zvakakwana kuti ive nechokwadi chekuti firimu rakaiswa rakanyatsobatanidzwa kune substrate ine tembiricha yakatarwa panguva yekuchinja kwemhepo. Kumanikidzwa kwemhepo yechinhu chesubstrate patembiricha yekuisa mvura kunofanirawo kunge kwakaderera zvakakwana.
Zvinoita kuti mvura iite seyakaganhurirwa zvakakamurwa kuita zvinhu zvitatu zvikuru zvinotevera.
(1) Mamiriro egasi. Zvinhu zvinobva mugasi patembiricha yemumba, zvakaita semethane, carbon dioxide, ammonia, chlorine, nezvimwewo, izvo zvinonyanya kukonzera kuunganidzwa kwemhepo inopfungaira mumakemikoro, uye zvinoita kuti mwero wekuyerera kwemvura utongerwe zviri nyore.
(2) Mvura. Zvimwe zvinhu zvinoitwa nemuviri patembiricha yemumba kana tembiricha yakakwira zvishoma, kune kumanikidzwa kwakakwira kwemhepo, senge TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, nezvimwewo, zvinogona kushandiswa kutakura gasi (rakadai seH2, N2, Ar) richiyerera nepamusoro pemvura kana mvura iri mukati mebubble, uye wozotakura mweya wakazara wechinhu ichi kuenda mustudio.
(3) Mamiriro akaoma. Kana pasina gasi rakakodzera kana mvura, zvinhu zvakasimba chete ndizvo zvinogona kushandiswa. Zvimwe zvinhu kana zvinhu zvacho mumazana emadhigirii zvine simba guru rekumanikidzwa kwemhepo, zvakaita seTaCl5, Nbcl5, ZrCl4, nezvimwewo, zvinogona kutakurwa kuenda mustudio uchishandisa gasi rinotakura rakaiswa mufirimu.
Kana mamiriro ezvinhu akajairika akaitwa kuburikidza negasi rakati uye gasi-solid kana gas-liquid reaction, kuumbwa kwezvikamu zvegasi zvakakodzera kuti studio itumire. Semuenzaniso, HCl gas nesimbi Ga zvinosangana kuti zvigadzire gasi-component GaCl, iyo inotakurwa kuenda kustudio muchimiro cheGaCl.
–Chinyorwa ichi chakaburitswa namugadziri wemuchina wevacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nguva yekutumira: Mbudzi-16-2023