O le tekinolosi CVD e faʻavae i luga o le tali atu faʻakemikolo. O le tali atu lea o loʻo i ai mea e tali atu i ai i le tulaga kasa ma o se tasi o oloa o loʻo i le tulaga mautu e masani ona taʻua o le tali atu CVD, o lea la e tatau i lana faiga tali atu faʻakemikolo ona faʻamalieina tulaga nei e tolu.
(1) I le vevela o le fa'aputuga, e tatau ona lava le maualuga o le mamafa o le ausa o mea e tali atu ai. Afai o mea uma e tali atu e pei o kesi i le vevela o le potu, e faigofie lava le masini e fa'aputuga ai, afai e fe'avea'i mea e tali atu i le vevela o le potu e matua la'ititi lava, e mana'omia ona fa'avevela ina ia fe'avea'i, ma o nisi taimi e mana'omia ai le fa'aogaina o le kesi feavea'i e aumai ai i le potu tali atu.
(2) O oloa o le tali atu, o mea uma e tatau ona i ai i le tulaga kasa vagana ai le mea e manaʻomia, lea e i le tulaga mautu.
(3) E tatau ona lava le maualalo o le mamafa o le ausa o le ata tifaga ua teuina ina ia mautinoa ai o le ata tifaga ua teuina ua pipii mau i se mea e iai se vevela patino o le teuina i le taimi o le tali atu o le teuina. E tatau foi ona lava le maualalo o le mamafa o le ausa o le mea o le mea e teuina i le vevela o le teuina.
Ua vaevaeina ia mea e tali atu ai i le fa'aputuga i tulaga autū e tolu.
(1) Tulaga kasa. O mea autu e kasa i le vevela o le potu, e pei o le methane, carbon dioxide, ammonia, chlorine, ma isi mea faapena, e sili ona fesoasoani i le fa'aputuina o le ausa fa'akemikolo, ma e faigofie ona fa'atonutonuina le saoasaoa o le tafe.
(2) Vai. O nisi o mea e tali atu i le vevela o le potu po'o le vevela maualuga teisi, e maualuga le mamafa o le ausa, e pei o le TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, ma isi, e mafai ona fa'aaogaina e ave ai le kesi (e pei o le H2, N2, Ar) e tafe i luga o le vai po'o le vai i totonu o le pupuni, ona ave lea o le ausa ua tumu o le mea i totonu o le potu fa'amamā.
(3) Tulaga mautu. Afai e leai se puna o le kesi po o le vai talafeagai, e na'o mea e fa'aaoga ai le tulaga mautu e mafai ona fa'aaogaina. O nisi elemene po'o a latou fa'aputuga i le selau tikeri e tele le mamafa o le ausa, e pei o le TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, ma isi, e mafai ona aveina i totonu o le potu su'esu'e e fa'aaoga ai le kesi feavea'i ua teuina i totonu o le vaega o le ata tifaga.
O le ituaiga o tulaga e sili ona taatele e ala i se kesi faapitoa ma le mea autu o le tali atu o le kesi-mautu poʻo le kesi-vai, e fausia ai ni vaega kesi talafeagai e tuʻuina atu i le potu suʻesuʻe. Mo se faʻataʻitaʻiga, e tali atu le kesi HCl ma le uʻamea Ga e fausia ai le vaega kesi GaCl, lea e aveina atu i le potu suʻesuʻe i le tulaga o le GaCl.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: 16-Nov-2023