Tiknoolajiyadda CVD waxay ku salaysan tahay falgalka kiimikada. Falcelinta ay falgalayaasha ku jiraan xaalad gaas ah iyo mid ka mid ah badeecadaha uu ku jiro xaalad adag waxaa badanaa loogu yeeraa falgalka CVD, sidaas darteed nidaamkeeda falgalka kiimikada waa inuu buuxiyaa saddexda shuruudood ee soo socda.
(1) Heerkulka kaydinta, falgalayaasha waa inay lahaadaan cadaadis uumi oo ku filan. Haddii falgalayaasha ay dhammaantood yihiin gaas heerkulka qolka, qalabka kaydinta waa mid fudud, haddii falgalayaasha ay yihiin kuwo isbeddela heerkulka qolka aad ayuu u yar yahay, waxay u baahan tahay in la kululeeyo si ay uga dhigto mid isbeddela, mararka qaarna waxay u baahan tahay in la isticmaalo gaaska side si loogu keeno qolka falcelinta.
(2) Badeecadaha falgalka, dhammaan walxaha waa inay ku jiraan xaalad gaas ah marka laga reebo dhigaalka la rabo, kaas oo ku jira xaalad adag.
(3) Cadaadiska uumiga ee filimka la dhigay waa inuu ahaadaa mid hooseeya si loo hubiyo in filimka la dhigay si adag loogu dhejiyay substrate leh heerkul gaar ah oo dhigista ah inta lagu jiro falcelinta dhigista. Cadaadiska uumiga ee walxaha substrate-ka ee heerkulka dhigista waa inuu sidoo kale ahaadaa mid ku filan.
Falgalayaasha dhigaalka waxaa loo qaybiyaa saddexda xaaladood ee ugu muhiimsan ee soo socda.
(1) Xaaladda gaaska. Alaabada laga soo xigtay ee gaaska ku jira heerkulka qolka, sida methane, kaarboon laba ogsaydh, ammonia, chlorine, iwm., kuwaas oo ugu habboon kaydinta uumiga kiimikada, oo si fudud loogu nidaamiyo heerka socodka.
(2) Dareere. Qaar ka mid ah walxaha falcelinta ee heerkulka qolka ama heerkul ka sarreeya, waxaa jira cadaadis uumi sare, sida TiCI4, SiCl4, CH3SiCl3, iwm., ayaa loo isticmaali karaa in lagu qaado socodka gaaska (sida H2, N2, Ar) iyada oo loo marayo dusha sare ee dareeraha ama dareeraha gudaha xumbo, ka dibna loo qaado uumiga buuxa ee walaxda istuudiyaha.
(3) Xaalad adag. Haddii aan la helin ilo gaas ama dareere ah oo ku habboon, kaydka cuntada ee xaaladda adag ayaa la isticmaali karaa oo keliya. Qaar ka mid ah walxaha ama iskudhisyadooda boqolaal darajo ah waxay leeyihiin cadaadis uumi oo aad u weyn, sida TaCl5, Nbcl5, ZrCl4, iwm., ayaa loo qaadi karaa istuudiyaha iyadoo la isticmaalayo gaaska side ee lagu shubay lakabka filimka.
Xaaladda ugu badan waxay ku timaadaa gaas gaar ah iyo falgalka gaaska-adag ama dareeraha gaaska, sameynta qaybo gaas oo ku habboon keenista istuudiyaha. Tusaale ahaan, gaaska HCl iyo birta Ga waxay ka falceliyaan sameynta qayb gaas ah GaCl, taas oo loo qaado istuudiyaha qaab GaCl ah.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Noofambar-16-2023