CVD örtük tehnologiýasy aşakdaky aýratynlyklara eýedir:
1. CVD enjamlarynyň işleýşi deňeşdirme boýunça ýönekeý we çeýedir, şeýle hem ol dürli proporsiýaly ýeke ýa-da kompozit plýonkalary we legirlenmiş plýonkalary taýýarlap bilýär;
2. CVD örtüginiň ulanylyş ugurlary giň we dürli metal ýa-da metal plýonka örtüklerini taýýarlamak üçin ulanylyp bilner;
3. Minutda birnäçe mikrondan ýüzlerçe mikrona çenli çökündi tizligi sebäpli ýokary önümçilik netijeliligi;
4. PVD usuly bilen deňeşdirilende, CVD has gowy difraksiýa görkezijisine eýedir we oýuklar, örtülen deşikler we hatda kör deşik gurluşlary ýaly çylşyrymly görnüşdäki substratlary örtmek üçin örän amatlydyr. Örtük gowy ykjamlykly plýonka bilen örtülip bilner. Plýonka emele getirme prosesinde ýokary temperatura we plýonka substratynyň serhetine güýçli ýelmeşme sebäpli, plýonka gatlagy örän berkdir.
5. Radiasiýanyň ýetirýän zyýany deňeşdirme boýunça az we MOS integral mikrosxema prosesleri bilen integrasiýa edilip bilner.
——Bu makala Guangdong Zhenhua tarapyndan çap edildiwakuum örtük maşyny öndüriji
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 29-njy marty